Publikationsübersicht –DienstleistungenEntwicklung mechatronischer Systeme
NPS6D100—A 6D Nanopositioning System with Sub-10 nm Performance in a Ø100 mm × 10 mm Workspace
Steffen Hesse1. Alex S. Huaman1. Micheal Katzschmann1. Ludwig Herzog1.Actuators 2025, 14, 361, DOI: doi.org/10.3390/act14080361
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.Automated Design Methodology for Electromagnetic Energy Harvesters
Bianca Leistritz1. Ludwig Herzog1.Sensors 2025, 25, 3358, DOI: doi.org/10.3390/s25113358
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.A method for dynamic interferometric characterization of air bearings for nanopositioning stages
Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Alex Huaman1. Parastoo Salimitari1. Ludwig Herzog1.Ilmenauer Nacht der Interferometrie und Internationales Wissenschaftliches Symposium zum Welttag der Interferometrie, 8. - 9. April 2025, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.Disturbance rejection in periodic motion with enhanced constant velocity transitions using a tilt-mirror test setup
Alex S. Huaman1. Michael Katzschmann1. Steffen Hesse1. Ludwig Herzog1.euspen Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, Brabanthallen, ’s-Hertogenbosch, The Netherlands, November 12-13, 2024
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.NPS6D200 – Realization of high precision long stroke vertical actuation in conjunction with a planar direct drive
Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Alex S. Huaman1. Davi-Anders Brasil1. Ludwig Herzog1.euspen Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, Brabanthallen, ’s-Hertogenbosch, The Netherlands, November 12-13, 2024
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.Experimental investigation of air bearing noise by means of a 3D nanopositioning system
Parastoo Salimitari1. Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Alex S. Huaman1. Ludwig Herzog1.euspen Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, Brabanthallen, ’s-Hertogenbosch, The Netherlands, November 12-13, 2024
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.Investigation of distance measurement reproducibility for a long-range nanopositioning machine combined with a laser focus sensor
Davi Anders Brasil1. Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Ludwig Herzog1. Thomas Fröhlich2. Thomas Kissinger2.20th International Conference on Precision Engineering (ICPE2024), Sendai, Japan, October 23-26, 2024
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau, Germany.NPS6D200 – A Long Range Nanopositioning Stage with 6D Closed Loop Control
Steffen Hesse1. Alex Huaman1. Michael Katzschmann1. Bianca Leistritz1. Ludwig Herzog1.Appl. Sci. 2024, 14, 6972. DOI: doi.org/10.3390/app14166972
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.Robust Adaptive Tracking Control for Highly Dynamic Nanoprecision Motion Systems
Alex S. Huaman1. Johann Reger2.in Engineering for a Changing World: Proceedings; 60th ISC, Ilmenau Scientific Colloquium, Technische Universität Ilmenau, September 04-08, 2023, Ilmenau. DOI: doi.org/10.22032/dbt.58700
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Control Engineering Group, Technische Universität Ilmenau, 98693 Ilmenau, Germany.Vertikale Nanopositionierung mit bis zu 25 mm Verfahrweg – Hubmodule für die hochgenaue Positionierung im Raum
Stephan Gorges1. Steffen Hesse1. Ludwig Herzog1.Konstruktion (2023), 07-08, Sonderteil Antriebstechnik, Seite 28 - 31, VDI Fachmedien, ISSN 0720-5953, e-paper.vdi-fachmedien.de/konstruktion/2023
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.Robust Adaptive Tracking Control of a 3D Vertical Motion System for Nanometer Precision Applications
Alex S. Huaman1. Johann Reger2.22nd IFAC World Congress, Yokohama, Japan, July 9-14, 2023, IFAC-PapersOnLine, Volume 56, Issue 2, 2023, Pages 5332-5339, ISSN 2405-8963, DOI: doi.org/10.1016/j.ifacol.2023.10.177.
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Control Engineering Group, Technische Universität Ilmenau, 98693 Ilmenau, P.O. Box 10-05-65, D-98684, Ilmenau, Germany.Operation and performance evaluation of vertical nanopositioners for 10 mm stroke in a 3D lift and tilt test setup
Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Alex S. Huaman1. Stephan Gorges1. Eberhard Manske2.euspen – Special Interest Group Meeting: Precision Motion Systems & Control, 15th – 16th November 2022, s-Hertogenbosch, The Netherlands, NL
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau, Germany.Nanometergenaue Hubmodule für die Präzisionsantriebstechnik
Stephan Gorges1.Konstruktion (2021) Nr. 11-12, Sonderteil Antriebstechnik, Seite 36 - 40, www.ingenieur.de/fachmedien/konstruktion/antriebstechnik/hubmodule-fuer-die-praezisionsantriebstechnik/
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.Tip‑ and Laser‑based 3D Nanofabrication in Extended Macroscopic Working Areas
Ingo Ortlepp1. Thomas Fröhlich1. Roland Füßl et al.1.Nanomanufacturing and Metrology 4, 132–148 (2021). DOI: doi.org/10.1007/s41871-021-00110-w
1Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, Ehrenbergstrasse 29, 98693, Ilmenau, Germany.Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control
Alex S. Huaman1. Michael Katzschmann1. Steffen Hesse1. Christoph Schäffel1. Christoph Weise2. Denis Dontsov3. Eberhard Manske2. Johann Reger2.2021 IEEE International Conference on Mechatronics (ICM2021), DOI: doi.org/10.1109/ICM46511.2021.9385699, 7 - 9 March 2021, Kashiwa, Japan
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Technische Universität Ilmenau, Germany. 3SIOS Meßtechnik GmbH, Germany.Hochpräzise positionieren – Integrierter 6-DOF-Direktantrieb bewegt Objekte nanometergenau im Raum
Christoph Schäffel1.Konstruktion, Sonderteil Antriebstechnik, www.ingenieur.de/fachmedien/konstruktion/antriebstechnik/hochpraezise-positionieren/, 13. Oktober 2020
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.Integrated Planar 6-DOF Nanopositioning System
Stephan Gorges1. Steffen Hesse1. Christoph Schäffel1. I. Ortlepp2. E. Manske2. E. Langlotz2. D. Dontsov3.2019 11th IFAC Symposium on Nonlinear Control Systems (NOLCOS 2019), 4 - 6 September 2019, Vienna, Austria , IFAC-PapersOnLine, Volume 52, Issue 15, 2019, Pages 313-318, ISSN 2405-8963, DOI: doi.org/10.1016/j.ifacol.2019.11.693
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Technische Universität Ilmenau, 98693 Ilmenau, Germany. 3SIOS Meßtechnik GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.