Publikationsübersicht –DienstleistungenEntwicklung mechatronischer Systeme
Disturbance rejection in periodic motion with enhanced constant velocity transitions using a tilt-mirror test setup
Alex S. Huaman1. Michael Katzschmann1. Steffen Hesse1. Ludwig Herzog1.euspen Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, Brabanthallen ’s-Hertogenbosch, Netherlands, November 12-13, 2024
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.NPS6D200 – Realization of high precision long stroke vertical actuation in conjunction with a planar direct drive
Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Alex S. Huaman1. Davi-Anders Brasil1. Ludwig Herzog1.euspen Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, Brabanthallen ’s-Hertogenbosch, Netherlands, November 12-13, 2024
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.Experimental investigation of air bearing noise by means of a 3D nanopositioning system
Parastoo Salimitari1. Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Alex S. Huaman1. Ludwig Herzog1.euspen Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, Brabanthallen ’s-Hertogenbosch, Netherlands, November 12-13, 2024
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.Investigation of distance measurement reproducibility for a long-range nanopositioning machine combined with a laser focus sensor
Davi Anders Brasil1. Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Ludwig Herzog1. Thomas Fröhlich2. Thomas Kissinger2.20th International Conference on Precision Engineering (ICPE2024), Sendai, Japan, October 23-26, 2024
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau, Germany.NPS6D200 – A Long Range Nanopositioning Stage with 6D Closed Loop Control
Steffen Hesse1. Alex Huaman1. Michael Katzschmann1. Bianca Leistritz1. Ludwig Herzog1.Appl. Sci. 2024, 14, 6972. DOI: doi.org/10.3390/app14166972
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.Robust Adaptive Tracking Control for Highly Dynamic Nanoprecision Motion Systems
Alex S. Huaman1. Johann Reger2.in Engineering for a Changing World: Proceedings; 60th ISC, Ilmenau Scientific Colloquium, Technische Universität Ilmenau, September 04-08, 2023, Ilmenau. DOI: doi.org/10.22032/dbt.58700
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Control Engineering Group, Technische Universität Ilmenau, 98693 Ilmenau, Germany.Vertikale Nanopositionierung mit bis zu 25 mm Verfahrweg – Hubmodule für die hochgenaue Positionierung im Raum
Stephan Gorges1. Steffen Hesse1. Ludwig Herzog1.Konstruktion (2023), 07-08, Sonderteil Antriebstechnik, Seite 28 - 31, VDI Fachmedien, ISSN 0720-5953, e-paper.vdi-fachmedien.de/konstruktion/2023
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.Robust Adaptive Tracking Control of a 3D Vertical Motion System for Nanometer Precision Applications
Alex S. Huaman1. Johann Reger2.22nd IFAC World Congress, Yokohama, Japan, July 9-14, 2023, IFAC-PapersOnLine, Volume 56, Issue 2, 2023, Pages 5332-5339, ISSN 2405-8963, DOI: doi.org/10.1016/j.ifacol.2023.10.177.
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Control Engineering Group, Technische Universität Ilmenau, 98693 Ilmenau, P.O. Box 10-05-65, D-98684, Ilmenau, Germany.Operation and performance evaluation of vertical nanopositioners for 10 mm stroke in a 3D lift and tilt test setup
Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Alex S. Huaman1. Stephan Gorges1. Eberhard Manske2.euspen – Special Interest Group Meeting: Precision Motion Systems & Control, 15th – 16th November 2022, s-Hertogenbosch, The Netherlands, NL
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau, Germany.Nanometergenaue Hubmodule für die Präzisionsantriebstechnik
Stephan Gorges1.Konstruktion (2021) Nr. 11-12, Sonderteil Antriebstechnik, Seite 36 - 40, www.ingenieur.de/fachmedien/konstruktion/antriebstechnik/hubmodule-fuer-die-praezisionsantriebstechnik/
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.Tip‑ and Laser‑based 3D Nanofabrication in Extended Macroscopic Working Areas
Ingo Ortlepp1. Thomas Fröhlich1. Roland Füßl et al.1.Nanomanufacturing and Metrology 4, 132–148 (2021). DOI: doi.org/10.1007/s41871-021-00110-w
1Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, Ehrenbergstrasse 29, 98693, Ilmenau, Germany.Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control
Alex S. Huaman1. Michael Katzschmann1. Steffen Hesse1. Christoph Schäffel1. Christoph Weise2. Denis Dontsov3. Eberhard Manske2. Johann Reger2.2021 IEEE International Conference on Mechatronics (ICM2021), DOI: doi.org/10.1109/ICM46511.2021.9385699, 7 - 9 March 2021, Kashiwa, Japan
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Technische Universität Ilmenau, Germany. 3SIOS Meßtechnik GmbH, Germany.Hochpräzise positionieren – Integrierter 6-DOF-Direktantrieb bewegt Objekte nanometergenau im Raum
Christoph Schäffel1.Konstruktion, Sonderteil Antriebstechnik, www.ingenieur.de/fachmedien/konstruktion/antriebstechnik/hochpraezise-positionieren/, 13. Oktober 2020
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.Integrated Planar 6-DOF Nanopositioning System
Stephan Gorges1. Steffen Hesse1. Christoph Schäffel1. I. Ortlepp2. E. Manske2. E. Langlotz2. D. Dontsov3.2019 11th IFAC Symposium on Nonlinear Control Systems (NOLCOS 2019), 4 - 6 September 2019, Vienna, Austria , IFAC-PapersOnLine, Volume 52, Issue 15, 2019, Pages 313-318, ISSN 2405-8963, DOI: doi.org/10.1016/j.ifacol.2019.11.693
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Technische Universität Ilmenau, 98693 Ilmenau, Germany. 3SIOS Meßtechnik GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.