Publikationsübersicht –DienstleistungenEntwicklung mechatronischer Systeme
From Tracking Error to Accuracy – Error Budgeting and Compensation Approaches in Long-Range Nanopositioning Systems
Ludwig Herzog12026 PI Symposium on Mechatronics System Design, , Karlsruhe, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyVon hoher Dynamik und ultra-hoher Präzision: Positioniersystem-Entwicklung am IMMS
Ludwig Herzog1Jahrestagung der Forschungsgemeinschaft Ultrapräzisionstechnik, , Aachen, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyDetermination of yaw angle of mirror origin in a 6-DOF nanopositioning stage
Davi Anders Brasil1, Michael Katzschmann1, Steffen Hesse1, Ludwig Herzog1, Thomas Kissinger2, Thomas Fröhlich2International Scientific Symposium on World Interferometry Day 2026, , Ilmenau, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, GermanySensor for Picometer-Scale Positioning in Vacuum – Demonstration of an IDS3010-Based Ultra-Precise Closed-loop Linear Drive System
Markus Øverland1, Gregor Schindler1, Alex S. Huaman2, Ludwig Herzog2Technical Note: Motion & Sensing 15, attocube systems GmbH, V10/25, , PDF: https://marketing.attocube.com/1attocube systems GmbH, Eglfinger Weg 2, 85540 Haar, Germany, 2IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyNPS6D200: Long-Range-6D-Nanopositionierung mit interferometrischem Feedback für das Closed-Loop-Regelungssystem
Steffen Hesse1Experten-Tag für Präzisionsmesstechnik, , bei SIOS Meßtechnik GmbH, Ilmenau, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyNanometer-Positionierung mit 6D-Regelung
Steffen Hesse1Mikroproduktion, Fachmagazin, Ausgabe 03/2025, 2025, Seite 44-481IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyHerausforderungen und Lösungsansätze bei der Entwicklung kraftgekoppelter Hochpräzisions-Vertikalantriebe
Ludwig Herzog118. Jahrestagung „Feinwerktechnische Konstruktion“, , Dresden, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyNPS6D100-A 6D Nanopositioning System with Sub-10 nm Performance in a Ø100 mm × 10 mm Workspace
Steffen Hesse1, Alex S. Huaman1, Michael Katzschmann1, Ludwig Herzog1Actuators 2025, 14(8), 361, DOI: doi.org/10.3390/act140803611IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyAutomated Design Methodology for Electromagnetic Energy Harvesters
Bianca Leistritz1, Ludwig Herzog1Sensors 2025, 25(11), 3358, DOI: doi.org/10.3390/s251133581IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyA method for dynamic interferometric characterization of air bearings for nanopositioning stages
Steffen Hesse1, Michael Katzschmann1, Alex S. Huaman1, Parastoo Salimitari1, Ludwig Herzog1Internationales Wissenschaftliches Symposium zum Welttag der Interferometrie, , Technische Universität Ilmenau, Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyDisturbance rejection in periodic motion with enhanced constant velocity transitions using a tilt-mirror test setup
Alex S. Huaman1, Michael Katzschmann1, Steffen Hesse1, Ludwig Herzog1euspen Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, , Brabanthallen ’s-Hertogenbosch, Netherlands1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyNPS6D200 – Realization of high precision long stroke vertical actuation in conjunction with a planar direct drive
Steffen Hesse1, Michael Katzschmann1, Alex S. Huaman1, Davi Anders Brasil1, Ludwig Herzog1euspen Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, , Brabanthallen ’s-Hertogenbosch, Netherlands1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyExperimental investigation of air bearing noise by means of a 3D nanopositioning system
Parastoo Salimitari1, Steffen Hesse1, Michael Katzschmann1, Alex S. Huaman1, Ludwig Herzog1euspen Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, , Brabanthallen ’s-Hertogenbosch, Netherlands1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyInvestigation of distance measurement reproducibility for a long-range nanopositioning machine combined with a laser focus sensor
Davi Anders Brasil1, Steffen Hesse1, Michael Katzschmann1, Ludwig Herzog1, Thomas Fröhlich2, Thomas Kissinger220th International Conference on Precision Engineering (ICPE2024), , Sendai, Japan1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, GermanyNPS6D200 – A Long Range Nanopositioning Stage with 6D Closed Loop Control
Steffen Hesse1, Alex S. Huaman1, Michael Katzschmann1, Bianca Leistritz1, Ludwig Herzog1Applied Sciences 2024, 14(16), 6972, DOI: doi.org/10.3390/app141669721IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyRobust Adaptive Tracking Control for Highly Dynamic Nanoprecision Motion Systems
Alex S. Huaman1, Johann Reger2in Engineering for a Changing World: Proceedings; 60th ISC, Ilmenau Scientific Colloquium, Technische Universität Ilmenau, , Ilmenau, Germany, DOI: doi.org/10.22032/dbt.587001IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Department of Computer Science and Automation, Control Engineering Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, GermanyVertikale Nanopositionierung mit bis zu 25 mm Verfahrweg – Hubmodule für die hochgenaue Positionierung im Raum
Stephan Gorges1, Steffen Hesse1, Ludwig Herzog1Konstruktion (2023), 07-08, Sonderteil Antriebstechnik, 2023, Seite 28-31, ISSN 0720-5953, https://e-paper.vdi-fachmedien.de/konstruktion1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyRobust Adaptive Tracking Control of a 3D Vertical Motion System for Nanometer Precision Applications
Alex S. Huaman1, Johann Reger2in IFAC-PapersOnLine, vol. 56, 2, pp. 5332-5339, 2023, DOI: doi.org/10.1016/j.ifacol.2023.10.1771IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Department of Computer Science and Automation, Control Engineering Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, GermanyOperation and performance evaluation of vertical nanopositioners for 10 mm stroke in a 3D lift and tilt test setup
Steffen Hesse1, Michael Katzschmann1, Alex S. Huaman1, Stephan Gorges1, Eberhard Manske2euspen – Special Interest Group Meeting: Precision Motion Systems & Control, , ’s-Hertogenbosch, Netherlands1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, GermanyNanometergenaue Hubmodule für die Präzisionsantriebstechnik
Stephan Gorges1Konstruktion (2021) Nr. 11-12, Sonderteil Antriebstechnik, 2021, Seite 36-40, https://www.ingenieur.de/fachmedien/konstruktion/antriebstechnik/hubmodule-fuer-die-praezisionsantriebstechnik/1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyTip‑ and Laser‑based 3D Nanofabrication in Extended Macroscopic Working Areas
Ingo Ortlepp1, Thomas Fröhlich1, Roland Füßl et al.1in Nanomanufacturing and Metrology, vol. 4, pp. 132–148, 2021, DOI: doi.org/10.1007/s41871-021-00110-w1Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, GermanyPicometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control
Alex S. Huaman1,2, Michael Katzschmann1, Steffen Hesse1, Christoph Schäffel1, Christoph Weise2, Denis Dontsov3, Eberhard Manske2, Johann Reger22021 IEEE International Conference on Mechatronics (ICM2021), , Kashiwa, Japan, DOI: doi.org/10.1109/ICM46511.2021.93856991IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 3SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, GermanyHochpräzise positionieren – Integrierter 6-DOF-Direktantrieb bewegt Objekte nanometergenau im Raum
Christoph Schäffel1Konstruktion, Sonderteil Antriebstechnik, , Nr. 11-12, https://www.ingenieur.de/fachmedien/konstruktion/antriebstechnik1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyIntegrated Planar 6-DOF Nanopositioning System
Stephan Gorges1, Steffen Hesse1, Christoph Schäffel1, Ingo Ortlepp2, Eberhard Manske2, Enrico Langlotz3, Denis Dontsov3in IFAC-PapersOnLine, vol. 52, no. 15, pp. 313-318, 2019, DOI: doi.org/10.1016/j.ifacol.2019.11.6931IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 3SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany