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Aktuelle Publikation

Hochpräzise positionieren – Integrierter 6-DOF-Direktantrieb bewegt Objekte nanometergenau im Raum

Christoph Schäffel1
Konstruktion, Sonderteil Antriebstechnik, , Nr. 11-12, https://www.ingenieur.de/fachmedien/konstruktion/antriebstechnik
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany

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Neuartiger integrierter 6DOF-Direktantrieb bewegt großflächige Objekte mit geringer vertikaler Ausdehnung nanometergenau im Raum.


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