IMMS - Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control

Aktuelle Publikation

Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control

Alex S. Huaman¹. Michael Katzschmann¹. Steffen Hesse¹. Christoph Schäffel¹. Christoph Weise². Denis Dontsov³. Eberhard Manske². Johann Reger².

2021 IEEE International Conference on Mechatronics (ICM2021), DOI: doi.org/10.1109/ICM46511.2021.9385699, 7 - 9 March 2021, Kashiwa, Japan

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. ²Technische Universität Ilmenau, Germany. ³SIOS Meßtechnik GmbH, Germany.

Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision Begutachtete Veröffentlichung

Zugehörige Inhalte

Nahaufnahme des Quarzglas-Läufers mit einem Hubmodul aus Metall, Magnetbrücken und Laserinterferometer .

Projekt

NanoFab

Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.

Auszeichnung

iENA-Silbermedaille für die Erfindung „Beobachter der Atome - Methode zur sub-nm genauen Regelung verkoppelter überaktuierter Positioniersysteme”

Alex S. Huaman

Auszeichnung

Best Paper Award für den Beitrag: Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control

Alex S. Huaman

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