Aktuelle Publikation
Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control
Alex S. Huaman1,2, Michael Katzschmann1, Steffen Hesse1, Christoph Schäffel1, Christoph Weise2, Denis Dontsov3, Eberhard Manske2, Johann Reger2
2021 IEEE International Conference on Mechatronics (ICM2021), , Kashiwa, Japan, DOI: doi.org/10.1109/ICM46511.2021.9385699
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 3SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany
Zugehörige Inhalte
Projekt
NanoFab
Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.
Auszeichnung
iENA-Silbermedaille für die Erfindung „Beobachter der Atome - Methode zur sub-nm genauen Regelung verkoppelter überaktuierter Positioniersysteme”
Alex S. Huaman
Auszeichnung