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MEMS – Simulation, Design und Test

Wir entwickeln als Designhouse für die offene Technologieplattform XMB-10 von X-FAB in einem teilautomatisierten Entwurfsprozess Beschleunigungssensoren entsprechend Ihrer Spezifikation. Beim Test von MEMS fokussieren wir uns auf die vibrometrische Untersuchung von Sensoren. Das umfasst einerseits Funktionaltests, z.B. von Resonatoren bis 1,2 GHz, sowie andererseits die indirekte Parameteridentifikation. Aus vibrometrischen Messdaten und FE-Parameterrechnungen lassen sich so u.a. Materialspannungen von balken- und membranbasierten Sensoren bestimmen.

Wir unterstützen seit langem vor allem Forschungseinrichtungen im Bereich MEMS. Einen Teil der Forschungsergebnisse konnten wir in den letzten Jahren bereits erfolgreich in Produkte unserer Industriepartner transferieren.

Basierend auf Erfahrungen aus zahlreichen Forschungs- und Kundenprojekten bieten wir folgende Leistungen an.

Leistungsangebot

  • Design, Layout und Test von Beschleunigungssensoren in der XMB10-Technologie von X-FAB
    • Entwicklung kundenspezifischer 1D-, 2D- oder 3D-Beschleunigungssensoren basierend auf der Kundenspezifikation
    • Durchführung elektrischer Tests
    • Schocktests in Kooperation mit Partnern
  • FE-Simulation Cantilever-, Balken- und Membran-basierter Sensorstrukturen unterschiedlicher Wirkprinzipien
    • piezoresistiv
    • piezoelektrisch
    • magnetostrikiv
  • Optimierung von Sensorstrukturen hinsichtlich Sensorparameter, wie Sensitivität und Nichtlinearität, unter Berücksichtigung von technologisch bedingten Prozesstoleranzen
  • vibrometrische Untersuchungen von MEMS
    • Funktionstest, z.B. von Resonatoren
    • indirekte Bestimmung von Materialeigenschaften, z.B. von Materialspannungen
    • Monitoring der Materialspannung von membranbasierten Sensoren über den gesamten Fertigungsprozess von der Waferebene bis zum Packaging.

Applikationsfelder und technische Ausstattung

  • Entwicklung von Inertialsensoren, z.B. TPMS für die Automobilindustrie
  • Medizintechnik

  • ANSYS
  • MAXWELL
  • Vibrometermesssysteme für Frequenzen bis zu 1,2Ghz
  • MEMS-Vibro-3D
  • MEMS-T-Lab

Kontakt

Kontakt

Dr.-Ing. Frank Spiller

Kommissarischer Leiter Mechatronik

frank.spiller(at)imms.de+49 (0) 3677 874 93 61

Dr. Frank Spiller gibt Ihnen Auskunft zu unserer Forschung an magnetischen 6D-Direktantrieben mit nm-Präzision für die nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten. Er unterstützt Sie mit Dienstleistungen für die Entwicklung mechatronischer Systeme, für Simulation, Design und Test von MEMS sowie für Finite-Elemente-Modellierung und Simulation.

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UHF-RFID-Chip zum batterielosen Betrieb kommerzieller Sensoren in I4.0-Anwendungen und systematischer Entwurf von Multisensorik-Systemen

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Dr. Gisbert Hölzer, X-FAB

„Das IMMS unterstützt unsere „More-than-Moore“-Roadmap bereits seit Jahren als wichtigster Forschungspartner und hat sein Know-how in der ASIC-Designmethodik souverän mit der Mikromechanik zusammengeführt.“

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Dienstleistung

FE-Modellierung und Simulation

Wir unterstützen Sie in der Konzept- und Entwicklungsphase neuer Produkte mit Berechnungen und Simulationen, um Entwicklungszeiten zu verkürzen und Produktparameter zu verbessern, wie Gewichts- & Materialeinsparung oder Minimierung der Eigenschwingungen.

Über uns

Ausstattung

Wir nutzen den neuesten Stand der Technik für unsere F&E-Arbeiten. Unter anderem erweitern wir permanent unsere technische Labor- und Geräteinfrastruktur, um im internationalen wissenschaftlichen Wettbewerbsumfeld konkurrenzfähig bleiben zu können.