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Aktuelle Publikation

Tip‑ and Laser‑based 3D Nanofabrication in Extended Macroscopic Working Areas

Ingo Ortlepp1, Thomas Fröhlich1, Roland Füßl et al.1
in Nanomanufacturing and Metrology, vol. 4, pp. 132–148, 2021, DOI: doi.org/10.1007/s41871-021-00110-w
1Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany