Aktuelle Publikation
NPS6D200: Long-Range-6D-Nanopositionierung mit interferometrischem Feedback für das Closed-Loop-Regelungssystem
Steffen Hesse1.
Experten-Tag für Präzisionsmesstechnik, 28. - 29. Oktober 2025, bei SIOS Meßtechnik GmbH, Ilmenau, Germany
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.
Zugehörige Inhalte
Projekt
NanoFab
Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.
Auszeichnung
iENA-Silbermedaille für die Erfindung „Beobachter der Atome - Methode zur sub-nm genauen Regelung verkoppelter überaktuierter Positioniersysteme”
Alex S. Huaman
Auszeichnung