IMMS - Operation and performance evaluation of vertical nanopositioners for 10 mm stroke in a 3D lift and tilt test setup

Aktuelle Publikation

Operation and performance evaluation of vertical nanopositioners for 10 mm stroke in a 3D lift and tilt test setup

Steffen Hesse¹. Michael Katzschmann¹. Alex S. Huaman¹. Stephan Gorges¹. Eberhard Manske².

euspen – Special Interest Group Meeting: Precision Motion Systems & Control, 15th – 16th November 2022, s-Hertogenbosch, The Netherlands, NL

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. ²Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau, Germany.

Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision Vortrag und Posterpräsentation

Zugehörige Inhalte

Projekt

NanoFab

Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.

Auszeichnung

iENA-Silbermedaille für die Erfindung „Beobachter der Atome - Methode zur sub-nm genauen Regelung verkoppelter überaktuierter Positioniersysteme”

Alex S. Huaman

Auszeichnung

Best Paper Award für den Beitrag: Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control

Alex S. Huaman

Forschung

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