Aktuelle Publikation
From Tracking Error to Accuracy – Error Budgeting and Compensation Approaches in Long-Range Nanopositioning Systems
Ludwig Herzog1
2026 PI Symposium on Mechatronics System Design, , Karlsruhe, Germany
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany
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