Aktuelle Publikation
A method for dynamic interferometric characterization of air bearings for nanopositioning stages
Steffen Hesse1, Michael Katzschmann1, Alex S. Huaman1, Parastoo Salimitari1, Ludwig Herzog1
Internationales Wissenschaftliches Symposium zum Welttag der Interferometrie, , Technische Universität Ilmenau, Ilmenau
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany