Aktuelle Publikation
NPS6D200 – A Long Range Nanopositioning Stage with 6D Closed Loop Control
Steffen Hesse1, Alex S. Huaman1, Michael Katzschmann1, Bianca Leistritz1, Ludwig Herzog1
Applied Sciences 2024, 14(16), 6972, DOI: doi.org/10.3390/app14166972
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany
