Aktuelle Publikation
NPS6D200 – A Long Range Nanopositioning Stage with 6D Closed Loop Control
Steffen Hesse1.
Alex Huaman1.
Michael Katzschmann1.
Bianca Leistritz1.
Ludwig Herzog1.
Appl. Sci. 2024, 14, 6972. DOI: doi.org/10.3390/app14166972
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.
