Aktuelle Publikation
Von hoher Dynamik und ultra-hoher Präzision: Positioniersystem-Entwicklung am IMMS
Ludwig Herzog1
Jahrestagung der Forschungsgemeinschaft Ultrapräzisionstechnik, , Aachen, Germany
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany
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