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Aktuelle Publikation

Herausforderungen und Lösungsansätze bei der Entwicklung kraftgekoppelter Hochpräzisions-Vertikalantriebe

Ludwig Herzog1.

18. Jahrestagung „Feinwerktechnische Konstruktion“, 25. - 26. September 2025, Dresden, Germany

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.

Zugehörige Inhalte

Nahaufnahme des Quarzglas-Läufers mit einem Hubmodul aus Metall, Magnetbrücken und Laserinterferometer .

Projekt

NanoFab

Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.

Auszeichnung

iENA-Silbermedaille für die Erfindung „Beobachter der Atome - Methode zur sub-nm genauen Regelung verkoppelter überaktuierter Positioniersysteme”

Alex S. Huaman

Auszeichnung

Best Paper Award für den Beitrag: Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control

Alex S. Huaman

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