Aktuelle Publikation
Herausforderungen und Lösungsansätze bei der Entwicklung kraftgekoppelter Hochpräzisions-Vertikalantriebe
Ludwig Herzog1.
18. Jahrestagung „Feinwerktechnische Konstruktion“, 25. - 26. September 2025, Dresden, Germany
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.