Aktuelle Publikation
Determination of yaw angle of mirror origin in a 6-DOF nanopositioning stage
Davi Anders Brasil1, Michael Katzschmann1, Steffen Hesse1, Ludwig Herzog1, Thomas Kissinger2, Thomas Fröhlich2
International Scientific Symposium on World Interferometry Day 2026, , Ilmenau, Germany
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany
Zugehörige Inhalte
Projekt
NanoFab
Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.
Auszeichnung
iENA-Silbermedaille für die Erfindung „Beobachter der Atome - Methode zur sub-nm genauen Regelung verkoppelter überaktuierter Positioniersysteme”
Alex S. Huaman
Auszeichnung