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Aktuelle Publikation

Robust Adaptive Tracking Control of a 3D Vertical Motion System for Nanometer Precision Applications

Alex S. Huaman1. Johann Reger2.

22nd IFAC World Congress, Yokohama, Japan, July 9-14, 2023, IFAC-PapersOnLine, Volume 56, Issue 2, 2023, Pages 5332-5339, ISSN 2405-8963, DOI: doi.org/10.1016/j.ifacol.2023.10.177.

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Control Engineering Group, Technische Universität Ilmenau, 98693 Ilmenau, P.O. Box 10-05-65, D-98684, Ilmenau, Germany.

Zugehörige Inhalte

Projekt

NanoFab

Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.

Auszeichnung

Best Paper Award für den Beitrag: Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control

Alex S. Huaman

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