Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
1082 Ergebnisse
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Tip-based nanofabrication below 40 nm combined with a nanopositioning machine with a movement range of Ø100 mm
Jaqueline Stauffenberg1. Michael Reibe1. Anja Krötschl2. Christoph Reuter2. Ingo Ortlepp1,2. Denis Dontsov3. Steffen Hesse4. Ivo W. Rangelow1,5. Steffen Strehle2. Eberhard Manske1.Micro and Nano Engineering, Volume 19, 2023, 100201, ISSN 2590-0072, doi.org/10.1016/j.mne.2023.1002011Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Production and Precision Measurement Technology Group, Technische Universität Ilmenau, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, Ilmenau 98693, Thuringia, Germany. 2Institute of Micro- and Nanotechnologies, Microsystems Technology Group, Technische Universität Ilmenau, Max-Planck-Ring 12, Ilmenau 98693, Thuringia, Germany. 3SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, Ilmenau 98693, Thuringia, Germany. 4IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 5nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 3, Ilmenau 98693, Thuringia, Germany. -
Intelligentes Design: KI für EDA?
Georg Gläser1.edaWorkshop23, 8. - 9. Mai 2023, Hannover, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau, Germany. -
Frostrisikoerkennung mittels Knospenüberwachung im Obstbau
Silvia Krug1.Experimentierfelder-Konferenz 2023, 27. - 28. April 2023, Berlin1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
A compact pump-probe optically pumped magnetometer system
Theo Scholtes1. Jannis Grixa1. Jakob Hampel2. Andreas Chwala1. Frank Bauer1. Ronny Stolz1.16th Photonics Workshop, 12th - 15th March 2023, Kopaonik, Serbien1Leibniz IPHT, Albert-Einstein-Strasse 9, 07745 Jena, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
Towards Deploying DNN Models on Edge for Predictive Maintenance Applications
Rick Pandey1. Sebastian Uziel1. Tino Hutschenreuther1. Silvia Krug1,2.Electronics 2023, 12(3), 639; doi.org/10.3390/electronics120306391IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Department of Computer and Electrical Engineering, Mid Sweden University, Holmgatan 10, 851 70 Sundsvall, Sweden. -
Operation and performance evaluation of vertical nanopositioners for 10 mm stroke in a 3D lift and tilt test setup
Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Alex S. Huaman1. Stephan Gorges1. Eberhard Manske2.euspen – Special Interest Group Meeting: Precision Motion Systems & Control, 15th – 16th November 2022, s-Hertogenbosch, The Netherlands, NL1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau, Germany. -
Machine-Learning im PCB-Entwurf: Open-Source zwischen Forschung, Potential und Alltag
Georg Gläser1.30. Konferenz des Fachverbandes für Design, Leiterplatten- und Elektronikfertigung (FED), 29. - 30. September 2022, Potsdam, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
KI für energieeffiziente Sensorsysteme – Effiziente Überwachung von Maschinen und Anlagen
Sebastian Uziel1.elmug4future, Technologiekonferenz, 27. - 28. September 2022, Friedrichroda, Thüringen1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
An IoT-based Sensor System to Capture Flower Bud Growth in Spring
Silvia Krug1,2. Tino Hutschenreuther1.19. GI/ITG KuVS Fachgespräch Sensornetze (FGSN 2022), pp. 37-40, DOI: doi.org/10.34702/mncp-qb18. 15. September 2022, Berlin, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Mid Sweden University Sundsvall, Sweden. -
Robust Tracking Control with L1 Adaptive Augmentation for a Long Stroke Vertical Nanopositioning System: Part II
Alex S. Huaman1. Johann Reger2.2022 IEEE Conference on Control Technology and Applications (CCTA), 2022, pp. 621-627, DOI: doi.org/10.1109/CCTA49430.2022.9965993, 22 - 25 August, 2022, Trieste, Italy1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Control Engineering Group, Technische Universität Ilmenau, P.O. Box 10-05-65, D-98684, Ilmenau, Germany.