Zum Hauptinhalt springen

Aktuelle Publikation

Experimental investigation of air bearing noise by means of a 3D nanopositioning system

Parastoo Salimitari1. Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Alex S. Huaman1. Ludwig Herzog1.

euspen Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, Brabanthallen ’s-Hertogenbosch, Netherlands, November 12-13, 2024

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.