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Experimental investigation of air bearing noise by means of a 3D nanopositioning system
Parastoo Salimitari1, Steffen Hesse1, Michael Katzschmann1, Alex S. Huaman1, Ludwig Herzog1
euspen Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, , Brabanthallen ’s-Hertogenbosch, Netherlands
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany
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