Integrated Planar 6-DOF Nanopositioning System

Stephan Gorges¹. Steffen Hesse¹. Christoph Schäffel¹. I. Ortlepp². E. Manske². E. Langlotz². D. Dontsov³.

2019 11th IFAC Symposium on Nonlinear Control Systems (NOLCOS 2019), 4 - 6 September 2019, Vienna, Austria , IFAC-PapersOnLine, Volume 52, Issue 15, 2019, Pages 313-318, ISSN 2405-8963, DOI: doi.org/10.1016/j.ifacol.2019.11.693

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. ²Technische Universität Ilmenau, 98693 Ilmenau, Germany. ³SIOS Meßtechnik GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.

Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision Begutachtete Veröffentlichung

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Neuartiger integrierter 6DOF-Direktantrieb bewegt großflächige Objekte mit geringer vertikaler Ausdehnung nanometergenau im Raum.

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