Aktuelle Publikation
NPS6D100-A 6D Nanopositioning System with Sub-10 nm Performance in a Ø100 mm × 10 mm Workspace
Steffen Hesse1, Alex S. Huaman1, Michael Katzschmann1, Ludwig Herzog1
Actuators 2025, 14(8), 361, DOI: doi.org/10.3390/act14080361
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany
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