Leitanwendung nm-Vermessung und -Bearbeitung von Objekten
Unser Ziel ist es, mit hochgenauen Präzisionsantriebssystemen die Grundlage für die Mess- und Fertigungstechnik der Zukunft zu schaffen. Von heute planaren (2,5D) Bewegungsgenauigkeiten im sub-µm Bereich sind wir auf dem Weg zu räumlichen (6D) Positioniergenauigkeiten im einstelligen nm-Bereich. Auf der Basis unserer Forschungsarbeiten entwickeln wir Aktoren, die es ermöglichen, ein Objekt auf einer Fläche mit einem Durchmesser von 100 mm und einem Vertikalhub von 10 mm nanometergenau zu positionieren. Perspektivisch wird der Durchmesser auf 200 mm und der z-Hub auf 25 mm erweitert. Zur Anwendung kommen solche Systeme z.B. in der Präzisionsmesstechnik und für die Herstellung von Halbleiter-Wafern und Belichtungsmasken in der Mikroelektronikfertigung.
Kontakt
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Dr.-Ing. Ludwig Herzog
Leiter Mechatronik
ludwig.herzog(at)imms.de+49 (0) 3677 874 93 60
Dr. Ludwig Herzog gibt Ihnen Auskunft zu unserer Forschung an magnetischen 6D-Direktantrieben mit nm-Präzision für die nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten. Er unterstützt Sie mit Dienstleistungen für die Entwicklung mechatronischer Systeme, für Simulation, Design und Test von MEMS sowie für Finite-Elemente-Modellierung und Simulation.
Zugehörige Inhalte
Projekt
MC_NPS
Verbindung eines Hochpräzisionsantriebs aus der Forschung mit industrieller Steuerung zur nanometergenauen Positionierung für High-Tech-Anwendungen
Projekt
OptoMed-Vakuumluftlager
Luftlager in Hochpräzisions-Vakuumanwendungen? Mit unseren Partnern loten wir das technisch Machbare dieses (scheinbaren) Widerspruchs aus.
Projekt
NFM-100
Für die Grundlagenforschung zur Nanomesstechnik und Nanofabrikation der TU Ilmenau wurde mit der Nanofabrikationsmaschine NFM-100 ein System realisiert, welches zum einen die Abtastung von Oberflächen (AFM) und zum anderen die Bearbeitung mittels Feldemissions-Rastersondenlithographie erstmalig in einem xy-Verfahrbereich von Ø100 mm möglich macht.
Projekt
K4PNP+Z
Das IMMS hat Aktoren entwickelt, um Objekte in Ebenen bis 200 mm Durchmesser mit 25 mm Vertikalhub nanometergenau zu positionieren.
Referenz
Michael Muth, AeroLas
„Wir schätzen die Zusammenarbeit mit dem IMMS bereits seit vielen Jahren. Die Ergebnisse des Projektes bilden für AeroLas die Basis für künftige kundenspezifische Produktdesigns. IMMS ist aufgrund seiner hervorragenden Expertise im Bereich der magnetischen Antriebstechnologie für uns ein wichtiger Partner für weitere Entwicklungen.“
Referenz
Peter Chall, ALSI
„Die erreichte extreme Genauigkeit, Reproduzierbarkeit und Produktivität des Laserschneidprozesses bewegen sich im internationalen Spitzenfeld. Die enge Kooperation mit dem IMMS führt zu innovativen Entwicklungen, auf Basis derer wir unsere Position als führender Technologieanbieter ausbauen können.“
Nonholonomic Omnidirectional Mobile Robot with Dual Steerable Drive Modules – Part I: Modeling
Alex S. Huaman1, Michael Katzschmann1, Tom Mehner2, Johann Reger32026 30th International Conference on Methods and Models in Automation and Robotics (MMAR), , Międzyzdroje, Poland, pp. 226-231, DOI: doi.org/10.1109/MMAR70562.2026.116678611IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2MetraLabs GmbH, Weimarer Str. 28, 98693 Ilmenau, Germany, 3Technische Universität Ilmenau, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, GermanyNonholonomic Omnidirectional Mobile Robot with Dual Steerable Drive Modules – Part II: Tracking Control
Alex S. Huaman1, Michael Katzschmann1, Tom Mehner2, Johann Reger32026 30th International Conference on Methods and Models in Automation and Robotics (MMAR), , Międzyzdroje, Poland, pp. 232-237, DOI: doi.org/10.1109/MMAR70562.2026.116678641IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2MetraLabs GmbH, Weimarer Str. 28, 98693 Ilmenau, Germany, 3Technische Universität Ilmenau, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, GermanyNonholonomic Omnidirectional Mobile Robot with Dual Steerable Drive Modules – Part III: Steering Control
Alex S. Huaman1, Michael Katzschmann1, Tom Mehner2, Johann Reger32026 30th International Conference on Methods and Models in Automation and Robotics (MMAR), , Międzyzdroje, Poland, pp. 238-243, DOI: doi.org/10.1109/MMAR70562.2026.116678971IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2MetraLabs GmbH, Weimarer Str. 28, 98693 Ilmenau, Germany, 3Technische Universität Ilmenau, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, GermanyInvestigation of long-term distance measurement repeatability in a large-range nanopositioning machine combined with a laser focus sensor
Davi Anders Brasil1, Michael Katzschmann1, Steffen Hesse1, Ludwig Herzog1, Eberhard Manske2, Thomas Fröhlich2, Thomas Kissinger2in Meas. Sci. Technol., vol. 37, no. 24, pp. 245005, 2026, DOI: doi.org/10.1088/1361-6501/ae76221IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany
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Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision
Um die Fertigung makroskopischer High-Tech-Produkte mit mikroskopischer Präzision zu ermöglichen, forschen wir an wissenschaftlichen Grundlagen und technischen Lösungen für Nanopositioniersysteme für große Bewegungsbereiche.