Publikationsübersicht –NanoFab
Investigation of long-term distance measurement repeatability in a large-range nanopositioning machine combined with a laser focus sensor
Davi Anders Brasil1, Michael Katzschmann1, Steffen Hesse1, Ludwig Herzog1, Eberhard Manske2, Thomas Fröhlich2, Thomas Kissinger2in Meas. Sci. Technol., vol. 37, no. 24, pp. 245005, 2026, DOI: doi.org/10.1088/1361-6501/ae76221IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, GermanyDetermination of yaw angle of mirror origin in a 6-DOF nanopositioning stage
Davi Anders Brasil1, Michael Katzschmann1, Steffen Hesse1, Ludwig Herzog1, Thomas Kissinger2, Thomas Fröhlich2International Scientific Symposium on World Interferometry Day 2026, , Ilmenau, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, GermanyNPS6D200: Long-Range-6D-Nanopositionierung mit interferometrischem Feedback für das Closed-Loop-Regelungssystem
Steffen Hesse1Experten-Tag für Präzisionsmesstechnik, , bei SIOS Meßtechnik GmbH, Ilmenau, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyNanometer-Positionierung mit 6D-Regelung
Steffen Hesse1Mikroproduktion, Fachmagazin, Ausgabe 03/2025, 2025, Seite 44-481IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyHerausforderungen und Lösungsansätze bei der Entwicklung kraftgekoppelter Hochpräzisions-Vertikalantriebe
Ludwig Herzog118. Jahrestagung „Feinwerktechnische Konstruktion“, , Dresden, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyA virtual metrology frame test setup using fiber interferometric sensors
Davi Anders Brasil1, Steffen Hesse1, Ludwig Herzog1, Thomas Fröhlich2, Thomas Kissinger222nd International Metrology Congress (CIM 2025), , Lyon, France1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, GermanyInvestigation of distance measurement reproducibility for a long-range nanopositioning machine combined with a laser focus sensor
Davi Anders Brasil1, Steffen Hesse1, Michael Katzschmann1, Ludwig Herzog1, Thomas Fröhlich2, Thomas Kissinger220th International Conference on Precision Engineering (ICPE2024), , Sendai, Japan1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, GermanyInvestigations on tip-based large area nanofabrication and nanometrology using a planar nanopositioning machine (NFM-100)
Jaqueline Stauffenberg1, Johannes Belkner1, Denis Dontsov2, Ludwig Herzog3, Steffen Hesse3, Ivo W Rangelow1,4, Ingo Ortlepp1, Thomas Kissinger1, Eberhard Manske1in Meas. Sci. Technol., vol. 35, no. 8, pp. 085011, 2024, DOI: doi.org/10.1088/1361-6501/ad46681Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany, 2SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany, 3IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 4nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 3, 98693 Ilmenau, Thuringia, GermanyUnconventional, lateral measurements with laser focus sensors for nanopositioning stages
Davi Anders Brasil1, Michael Katzschmann1, Steffen Hesse1, Ludwig Herzog1, Thomas Fröhlich2, Thomas Kissinger2euspen Special Interest Group Meeting, "Micro/Nano Manufacturing", , Ilmenau, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, GermanyRobust Adaptive Tracking Control for Highly Dynamic Nanoprecision Motion Systems
Alex S. Huaman1, Johann Reger2in Engineering for a Changing World: Proceedings; 60th ISC, Ilmenau Scientific Colloquium, Technische Universität Ilmenau, , Ilmenau, Germany, DOI: doi.org/10.22032/dbt.587001IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Department of Computer Science and Automation, Control Engineering Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, GermanyRobust Adaptive Tracking Control of a 3D Vertical Motion System for Nanometer Precision Applications
Alex S. Huaman1, Johann Reger2in IFAC-PapersOnLine, vol. 56, 2, pp. 5332-5339, 2023, DOI: doi.org/10.1016/j.ifacol.2023.10.1771IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Department of Computer Science and Automation, Control Engineering Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, GermanyTip-based nanofabrication below 40 nm combined with a nanopositioning machine with a movement range of Ø100 mm
Jaqueline Stauffenberg1, Michael Reibe1, Anja Krötschl2, Christoph Reuter2, Ingo Ortlepp1, Denis Dontsov3, Steffen Hesse4, Ivo W Rangelow1,5, Steffen Strehle2, Eberhard Manske1in Micro and Nano Engineering, vol. 19, June 23, pp. 100201, 2023, DOI: doi.org/10.1016/j.mne.2023.1002011Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Institute of Micro- and Nanotechnologies, Microsystems Technology Group, Max-Planck-Ring 12, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany, 3SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany, 4IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 5nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 3, 98693 Ilmenau, Thuringia, GermanyOperation and performance evaluation of vertical nanopositioners for 10 mm stroke in a 3D lift and tilt test setup
Steffen Hesse1, Michael Katzschmann1, Alex S. Huaman1, Stephan Gorges1, Eberhard Manske2euspen – Special Interest Group Meeting: Precision Motion Systems & Control, , ’s-Hertogenbosch, Netherlands1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, GermanyRobust Tracking Control with L1 Adaptive Augmentation for a Long Stroke Vertical Nanopositioning System: Part II
Alex S. Huaman1, Johann Reger22022 IEEE Conference on Control Technology and Applications (CCTA), , Trieste, Italy, pp. 621-627, DOI: doi.org/10.1109/CCTA49430.2022.99659931IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Department of Computer Science and Automation, Control Engineering Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, GermanyRobust Tracking Control with L1 Adaptive Augmentation for a Long-Stroke Vertical Nanopositioning System: Part I
Alex S. Huaman1, Johann Reger22022 IEEE Conference on Control Technology and Applications (CCTA), , Trieste, Italy, pp. 614-620, DOI: doi.org/10.1109/CCTA49430.2022.99661031IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Department of Computer Science and Automation, Control Engineering Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, GermanyMeasurement Precision of a Planar Nanopositioning Machine with a Range of Motion of Ø100 mm
Jaqueline Stauffenberg1, Ingo Ortlepp1, Johannes Belkner1, Denis Dontsov2, Enrico Langlotz2, Steffen Hesse3, Ivo W Rangelow4, Eberhard Manske1Applied Sciences 2022, 12(15), 7843, DOI: doi.org/10.3390/app121578431Technische Universität Ilmenau, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Production and Precision Measurement Technology Group, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany, 2SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany, 3IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 4nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 3, 98693 Ilmenau, Thuringia, GermanyInvestigations on the Tracking Control and Performance of a Long Stroke Vertical Nanopositioning Drive
Alex S. Huaman1, Stephan Gorges1, Michael Katzschmann1, Steffen Hesse1, Thomas Fröhlich2, Eberhard Manske2Euspen (European Society for Precision Engineering and Nanotechnology) – 22nd International Conference & Exhibition, , Geneva, Switzerland1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, GermanyNanofabrication and -metrology by using the nanofabrication machine (NFM-100)
Ingo Ortlepp1,2, Jaqueline Stauffenberg1, Anja Krötschl2, Denis Dontsov3, Jens-Peter Zöllner4, Steffen Hesse5, Christoph Reuter2, Steffen Strehle2, Thomas Fröhlich1, Ivo W. Rangelow6, Eberhard Manske1Proc. SPIE 12054, Novel Patterning Technologies 2022, 120540A (25 May 2022), DOI: doi.org/10.1117/12.26151181Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Institute of Micro- and Nanotechnologies, Microsystems Technology Group, Max-Planck-Ring 12, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany, 3SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany, 4Technische Universität Ilmenau, Department of Electrical Engineering and Information Technology, Institute for Micro- and Nanoelectronics, Micro- and Nanoelectronic Systems Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 5IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 6Technische Universität Ilmenau, Department of Mechanical Engineering, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Nanoscale Systems Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, GermanyInvestigations on the positioning accuracy of the Nano Fabrication Machine (NFM-100)
Jaqueline Stauffenberg1, Ingo Ortlepp1, Ulrike Blumröder1, Denis Dontsov2, Christoph Schäffel3, Mathias Holz4, Ivo W. Rangelow5, Eberhard Manske1in tm - Technisches Messen, vol. 88, no. 9, pp. 581-589, 2021, DOI: doi.org/10.1515/teme-2021-00791Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany, 2SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany, 3IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 4nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 3, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany, 5Technische Universität Ilmenau, Department of Mechanical Engineering, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Nanoscale Systems Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, GermanyPicometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control
Alex S. Huaman1,2, Michael Katzschmann1, Steffen Hesse1, Christoph Schäffel1, Christoph Weise2, Denis Dontsov3, Eberhard Manske2, Johann Reger22021 IEEE International Conference on Mechatronics (ICM2021), , Kashiwa, Japan, DOI: doi.org/10.1109/ICM46511.2021.93856991IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 3SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, GermanyNanopositioning and fabrication using the Nano Fabrication Machine with a positioning range up to ⊘100 mm
Jaqueline Stauffenberg1, Christoph Reuter2, Ingo Ortlepp1, Mathias Holz3, Denis Dontsov4, Christoph Schäffel5, Jens-Peter Zöllner6, Ivo W. Rangelow7, Steffen Strehle2, Eberhard Manske1Proc. SPIE 11610, Novel Patterning Technologies 2021, 1161016 (22 Feb 2021), DOI: doi.org/10.1117/12.25837031Technische Universität Ilmenau, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Production and Precision Measurement Technology Group, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Institute of Micro- and Nanotechnologies, Microsystems Technology Group, Max-Planck-Ring 12, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany, 3nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 3, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany, 4SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany, 5IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 6Technische Universität Ilmenau, Department of Electrical Engineering and Information Technology, Institute for Micro- and Nanoelectronics, Micro- and Nanoelectronic Systems Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 7Technische Universität Ilmenau, Department of Mechanical Engineering, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Nanoscale Systems Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, GermanyTip- and laser-based nanofabrication up to 100 mm with sub-nanometre precision
Ingo Ortlepp1, Michael Kühnel1, Martin Hofmann2, Laura Weidenfeller1, Johannes Kirchner1, Shraddha Supreeti3, Rostyslav Mastylo1, Thomas Michels2, Thomas Fröhlich1, Denis Dontsov4, Christoph Schäffel5, Eberhard Manske1Proc. SPIE 11324, Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS and MOEMS 2020, 113240A (23 March 2020), DOI: doi.org/10.1117/12.25510441Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Institute of Micro- and Nanoelectronics, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, 98693 Ilmenau, Germany, 3Technische Universität Ilmenau, Institute of Micro- and Nanotechnologies (IMN) MacroNano®, Micromechanical Systems Group, Gustav-Kirchhoff-Straße 7, 98693 Ilmenau, Germany, 4SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany, 5IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyDesign and Modeling Approach for a Lifting and Actuating Unit for the Application in Nano-Precision Machines
Stephan Gorges1, Steffen Hesse133rd Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering (ASPE), , Las Vegas, Nevada, USA1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany