Tip-based nanofabrication below 40 nm combined with a nanopositioning machine with a movement range of Ø100 mm

Jaqueline Stauffenberg¹. Michael Reibe¹. Anja Krötschl². Christoph Reuter². Ingo Ortlepp^1,2. Denis Dontsov³. Steffen Hesse⁴. Ivo W. Rangelow^1,5. Steffen Strehle². Eberhard Manske¹.

Micro and Nano Engineering, Volume 19, 2023, 100201, ISSN 2590-0072, DOI: doi.org/10.1016/j.mne.2023.100201

¹Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Production and Precision Measurement Technology Group, Technische Universität Ilmenau, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, Ilmenau 98693, Thuringia, Germany. ²Institute of Micro- and Nanotechnologies, Microsystems Technology Group, Technische Universität Ilmenau, Max-Planck-Ring 12, Ilmenau 98693, Thuringia, Germany. ³SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, Ilmenau 98693, Thuringia, Germany. ⁴IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. ⁵nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 3, Ilmenau 98693, Thuringia, Germany.

Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision Begutachtete Veröffentlichung

Zugehörige Inhalte

Hochgenaues Präzisionsantriebssystem mit räumlichen (6D) Positioniergenauigkeiten im einstelligen nm-Bereich.

Projekt

NFM-100

Für die Grundlagenforschung zur Nanomesstechnik und Nanofabrikation der TU Ilmenau wurde mit der Nanofabrikationsmaschine NFM-100 ein System realisiert, welches zum einen die Abtastung von Oberflächen (AFM) und zum anderen die Bearbeitung mittels Feldemissions-Rastersondenlithographie erstmalig in einem xy-Verfahrbereich von Ø100 mm möglich macht.