Tip-based nanofabrication below 40 nm combined with a nanopositioning machine with a movement range of Ø100 mm

Jaqueline Stauffenberg¹, Michael Reibe¹, Anja Krötschl², Christoph Reuter², Ingo Ortlepp¹, Denis Dontsov³, Steffen Hesse⁴, Ivo W Rangelow^1,5, Steffen Strehle², Eberhard Manske¹

in Micro and Nano Engineering, vol. 19, June 23, pp. 100201, 2023, DOI: doi.org/10.1016/j.mne.2023.100201

¹Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany, ²Technische Universität Ilmenau, Institute of Micro- and Nanotechnologies, Microsystems Technology Group, Max-Planck-Ring 12, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany, ³SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany, ⁴IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, ⁵nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 3, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany

Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision Begutachtete Veröffentlichung

Zugehörige Inhalte

Hochgenaues Präzisionsantriebssystem mit räumlichen (6D) Positioniergenauigkeiten im einstelligen nm-Bereich.

Projekt

NFM-100

Für die Grundlagenforschung zur Nanomesstechnik und Nanofabrikation der TU Ilmenau wurde mit der Nanofabrikationsmaschine NFM-100 ein System realisiert, welches zum einen die Abtastung von Oberflächen (AFM) und zum anderen die Bearbeitung mittels Feldemissions-Rastersondenlithographie erstmalig in einem xy-Verfahrbereich von Ø100 mm möglich macht.