Aktuelle Publikation
A virtual metrology frame test setup using fiber interferometric sensors
Davi Anders Brasil1.
Steffen Hesse1.
Ludwig Herzog1.
Thomas Fröhlich2.
Thomas Kissinger2.
22nd International Metrology Congress (CIM 2025), Lyon, France, March 11-14, 2025
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.
2Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau.
Zugehörige Inhalte
Projekt
NanoFab
Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.
Auszeichnung
iENA-Silbermedaille für die Erfindung „Beobachter der Atome - Methode zur sub-nm genauen Regelung verkoppelter überaktuierter Positioniersysteme”
Alex S. Huaman
Auszeichnung