Aktuelle Publikation
Measurement Precision of a Planar Nanopositioning Machine with a Range of Motion of Ø100 mm
Jaqueline Stauffenberg1.
Ingo Ortlepp1.
Johannes Belkner1.
Denis Dontsov2.
Enrico Langlotz2.
Steffen Hesse3.
Ivo Rangelow4.
Eberhard Manske1.
Applied Sciences. 2022; 12(15):7843. DOI: doi.org/10.3390/app12157843
1Production and Precision Measurement Technology Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, 98693 Ilmenau, Germany.
2SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany.
3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.
4nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 1, 98693 Ilmenau, Germany.
Zugehörige Inhalte
Projekt
NanoFab
Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.
Auszeichnung
iENA-Silbermedaille für die Erfindung „Beobachter der Atome - Methode zur sub-nm genauen Regelung verkoppelter überaktuierter Positioniersysteme”
Alex S. Huaman
Auszeichnung