Aktuelle Publikation
Measurement Precision of a Planar Nanopositioning Machine with a Range of Motion of Ø100 mm
Jaqueline Stauffenberg1, Ingo Ortlepp1, Johannes Belkner1, Denis Dontsov2, Enrico Langlotz2, Steffen Hesse3, Ivo W Rangelow4, Eberhard Manske1
Applied Sciences 2022, 12(15), 7843, DOI: doi.org/10.3390/app12157843
1Technische Universität Ilmenau, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Production and Precision Measurement Technology Group, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany, 2SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany, 3IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 4nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 3, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany
Zugehörige Inhalte
Projekt
NanoFab
Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.
Auszeichnung
iENA-Silbermedaille für die Erfindung „Beobachter der Atome - Methode zur sub-nm genauen Regelung verkoppelter überaktuierter Positioniersysteme”
Alex S. Huaman
Auszeichnung