IMMS - Design and Modeling Approach for a Lifting and Actuating Unit for the Application in Nano-Precision Machines

Aktuelle Publikation

Design and Modeling Approach for a Lifting and Actuating Unit for the Application in Nano-Precision Machines

Stephan Gorges¹, Steffen Hesse¹

33rd Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering (ASPE), 04.11.2018 – 09.11.2018, Las Vegas, Nevada, USA

¹IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany

Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision Vortrag und Posterpräsentation

Zugehörige Inhalte

Projekt

INPOS

Neuartiger integrierter 6DOF-Direktantrieb bewegt großflächige Objekte mit geringer vertikaler Ausdehnung nanometergenau im Raum.

Nahaufnahme des Quarzglas-Läufers mit einem Hubmodul aus Metall, Magnetbrücken und Laserinterferometer .

Projekt

NanoFab

Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.

Auszeichnung

iENA-Silbermedaille für die Erfindung „Beobachter der Atome - Methode zur sub-nm genauen Regelung verkoppelter überaktuierter Positioniersysteme”

Alex S. Huaman

Auszeichnung

Best Paper Award für den Beitrag: Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control

Alex S. Huaman

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