Aktuelle Publikation
Investigations on the Tracking Control and Performance of a Long Stroke Vertical Nanopositioning Drive
Alex S. Huaman1.
Stephan Gorges1.
Michael Katzschmann1.
Steffen Hesse1.
Thomas Fröhlich2.
Eberhard Manske2.
Euspen (European Society for Precision Engineering and Nanotechnology) – 22nd International Conference & Exhibition, 30 May – 3 June 2022, Geneva, Switzerland
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.
2Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, 98693 Ilmenau, Germany.
Zugehörige Inhalte
Projekt
NanoFab
Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.
Auszeichnung
iENA-Silbermedaille für die Erfindung „Beobachter der Atome - Methode zur sub-nm genauen Regelung verkoppelter überaktuierter Positioniersysteme”
Alex S. Huaman
Auszeichnung