Unconventional, lateral measurements with laser focus sensors for nanopositioning stages

Davi Anders Brasil¹. Michael Katzschmann¹. Steffen Hesse¹. Ludwig Herzog¹. T. Fröhlich². T. Kissinger².

euspen Special Interest Group Meeting, "Micro/Nano Manufacturing", 28. - 29. November 2023, Ilmenau, Germany

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. ²Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, Germany.

Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision Vortrag und Posterpräsentation

Zugehörige Inhalte

Projekt

NanoFab

Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.

Auszeichnung

Best Paper Award für den Beitrag: Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control

Alex S. Huaman

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