Aktuelle Publikation
Investigations on tip-based large area nanofabrication and nanometrology using a planar nanopositioning machine (NFM-100)
Jaqueline Stauffenberg1.
Johannes Belkner1.
Denis Dontsov2.
Ludwig Herzog3.
Steffen Hesse3.
Ivo W Rangelow1,4.
Ingo Ortlepp1.
Thomas Kissinger1.
Eberhard Manske1.
2024 Meas. Sci. Technol. 35 085011, DOI: doi.org/10.1088/1361-6501/ad4668
1Institute for Process Measurement and Sensor Technology, Department for Mechanical Engineering, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, Ilmenau, Germany.
2SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany.
3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.
4nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 1, 98693 Ilmenau, Germany.
Zugehörige Inhalte
Projekt
NanoFab
Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.
Auszeichnung