Aktuelle Publikation
Nanofabrication and -metrology by using the nanofabrication machine (NFM-100)
Ingo Ortlepp1.
Jaqueline Stauffenberg1.
Anja Krötschl1.
Denis Dontsov2.
Jens-Peter Zöllner1.
Steffen Hesse3.
Christoph Reuter1. Steffen Strehle1.
Thomas Fröhlich1.
Ivo W. Rangelow1.
Eberhard Manske1.
In Novel Patterning Technologies 2022 (Vol. 12054, pp. 76-87). SPIE, DOI: doi.org/10.1117/12.2615118
1Technische Universität Ilmenau, Germany.
2SIOS Meßtechnik GmbH, Germany.
3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.
Zugehörige Inhalte
Projekt
NanoFab
Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.
Auszeichnung
iENA-Silbermedaille für die Erfindung „Beobachter der Atome - Methode zur sub-nm genauen Regelung verkoppelter überaktuierter Positioniersysteme”
Alex S. Huaman
Auszeichnung