Nanofabrication and -metrology by using the nanofabrication machine (NFM-100)

Ingo Ortlepp^1,2, Jaqueline Stauffenberg¹, Anja Krötschl², Denis Dontsov³, Jens-Peter Zöllner⁴, Steffen Hesse⁵, Christoph Reuter², Steffen Strehle², Thomas Fröhlich¹, Ivo W. Rangelow⁶, Eberhard Manske¹

Proc. SPIE 12054, Novel Patterning Technologies 2022, 120540A (25 May 2022), DOI: doi.org/10.1117/12.2615118

¹Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany, ²Technische Universität Ilmenau, Institute of Micro- and Nanotechnologies, Microsystems Technology Group, Max-Planck-Ring 12, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany, ³SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany, ⁴Technische Universität Ilmenau, Department of Electrical Engineering and Information Technology, Institute for Micro- and Nanoelectronics, Micro- and Nanoelectronic Systems Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, ⁵IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, ⁶Technische Universität Ilmenau, Department of Mechanical Engineering, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Nanoscale Systems Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany

Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision Begutachtete Veröffentlichung