Aktuelle Publikation
Tip- and laser-based nanofabrication up to 100 mm with sub-nanometre precision
Ingo Ortlepp1.
Michael Kühnel1. Martin Hofmann1. Laura Weidenfeller1.
Johannes Kirchner1. Shraddha Supreeti1.
Rostyslav Mastylo1. Mathias Holz1.
Thomas Michels1. Roland Füßl1.
Ivo W. Rangelow1. Thomas Fröhlich1.
Denis Dontsov2.
Christoph Schäffel3.
Eberhard Manske1.
Proc. SPIE 11324, Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS and MOEMS 2020, 113240A (23 March 2020), DOI: doi.org/10.1117/12.2551044
1Technische Universität Ilmenau, Germany.
2SIOS Meßtechnik GmbH, Germany.
3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.
Zugehörige Inhalte
Projekt
NanoFab
Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.
Auszeichnung
iENA-Silbermedaille für die Erfindung „Beobachter der Atome - Methode zur sub-nm genauen Regelung verkoppelter überaktuierter Positioniersysteme”
Alex S. Huaman
Auszeichnung