Patent Dr.-Ing. Ludwig Herzog
Leiter Mechatronik
Dr. Ludwig Herzog gibt Ihnen Auskunft zu unserer Forschung an magnetischen 6D-Direktantrieben mit nm-Präzision für die nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten. Er unterstützt Sie mit Dienstleistungen für die Entwicklung mechatronischer Systeme, für Simulation, Design und Test von MEMS sowie für Finite-Elemente-Modellierung und Simulation.
Patent-Nr.:Dr.-Ing. Ludwig Herzog
Erfinder:
Forschungsfeld:Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision
Tag der Veröffentlichung:10.11.2014
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Entwicklung und Realisierung optimierter Antriebssysteme für Autonome Mobile Roboter
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NFM-100
Für die Grundlagenforschung zur Nanomesstechnik und Nanofabrikation der TU Ilmenau wurde mit der Nanofabrikationsmaschine NFM-100 ein System realisiert, welches zum einen die Abtastung von Oberflächen (AFM) und zum anderen die Bearbeitung mittels Feldemissions-Rastersondenlithographie erstmalig in einem xy-Verfahrbereich von Ø100 mm möglich macht.
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Kontakt
Kontakt
Eric Schäfer, M. Sc.
Leiter Mikroelektronik und Institutsteil Erfurt
eric.schaefer(at)imms.de+49 (0) 361 663 25 35
Eric Schäfer und sein Team erforschen Integrierte Sensorsysteme und hier insbesondere CMOS-basierte Biosensoren, ULP-Sensorsysteme und KI-basierte Entwurfs- und Testautomatisierung. Die Ergebnisse fließen in die Forschung an den Leitthemen Sensorsysteme für die In-vitro-Diagnostik und RFID-Sensoren ein. Er unterstützt Sie mit Dienstleistungen rund um die Entwicklung integrierter Schaltungen und mit KI-basierten Methoden für komplexe IC-Entwürfe.
Kontakt
Dipl.-Ing. Michael Meister
Leiter Industrielle Elektronik und Messtechnik
michael.meister(at)imms.de+49 (0) 3677 874 93 20
Michael Meister ist Ihr Ansprechpartner für Testdienstleistungen, Testmethodikentwicklung und Langzeituntersuchungen. Er beantwortet Ihre Fragen zum Kernthema Modulare und mobile Testsysteme, die wir in unserem Forschungsfeld Intelligente vernetzte Mess- und Testsysteme entwickeln, sowie zu Test und Charakterisierung von Integrierten Sensorsystemen. Er ist verantwortlich für den Messgerätepool des IMMS und unterstützt Sie bei der Validierung von ASIC- und MEMS-Entwicklungen.
Themenbereich Mechatronik
Unser Mechatronik-Team ist interdisziplinär zusammengesetzt, um den Erfolg bei der Forschung und Entwicklung für anwendungsspezifische mechatronische Systeme für die Forschung und für Industriekunden zu sichern, und kümmert sich um die
- Auslegung von elektro-magnetischen Aktoren,
- Modellierung und Simulation des statischen, dynamischen und thermischen Verhaltens mechatronischer Systeme,
- Entwicklung geeigneter Regelungsalgorithmen und deren Programmierung sowie die
- praktische Umsetzung in Form von Prototypen.
Unsere wissenschaftlichen Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter haben größtenteils akademische Abschlüsse in Mechatronik und Regelungstechnik sowie in verwandten Studienrichtungen wie Mathematik oder Elektrotechnik.
Wir betreuen pro Jahr vier bis sechs Studentinnen und Studenten in Praktika, Bachelor- und Masterarbeiten an unserem Standort in Ilmenau. Darüber hinaus stellen wir einen Teil des Teams Mittelstand Digital am IMMS.
Wir unterstützen Sie mit Forschung und Entwicklung auf folgenden Gebieten
Dienstleistung
Entwicklung mechatronischer Systeme
Wir entwickeln Aktorsysteme, Steuerungen und Regelungen als eingebettete Lösungen nach Kundenspezifikation mit höchsten Anforderungen an Präzision, Dynamik, verfügbaren Bauraum, Performance und Effizienz.
Dienstleistung
FE-Modellierung und Simulation
Wir unterstützen Sie in der Konzept- und Entwicklungsphase neuer Produkte mit Berechnungen und Simulationen, um Entwicklungszeiten zu verkürzen und Produktparameter zu verbessern, wie Gewichts- & Materialeinsparung oder Minimierung der Eigenschwingungen.
Forschungsfeld
Integrierte Sensorsysteme
Hier erforschen wir in Halbleitertechnologien gefertigte miniaturisierte Systeme aus mikroelektronischen Komponenten für sensorische Anwendungen sowie Methoden, um diese hochkomplexen Systeme effizient und sicher zu entwerfen.
Forschungsfeld
Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision
Um die Fertigung makroskopischer High-Tech-Produkte mit mikroskopischer Präzision zu ermöglichen, forschen wir an wissenschaftlichen Grundlagen und technischen Lösungen für Nanopositioniersysteme für große Bewegungsbereiche.
Dienstleistung
MEMS – Simulation, Design und Test
Wir entwickeln als Designhouse für die offene Technologieplattform XMB-10 von X-FAB Beschleunigungssensoren entsprechend Ihrer Spezifikation. Beim Test von MEMS fokussieren wir uns auf die vibrometrische Untersuchung von Sensoren.
Leitanwendung
nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten
Um beispielsweise die immer höhere Komplexität integrierter Systeme auf immer kleineren Halbleiterflächen fertigen zu können, forschen wir an immer präziseren Antrieben zur Nanometer-Vermessung und -Strukturierung von Objekten.
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