Zum Hauptinhalt springen

Aktuelle Publikation

Das Parallelisieren von Motor- und Regelungsentwurf reduziert Entwicklungszeit und -kosten

Dr. Ch. Schäffel1. M. Katzschmann1.

Erschienen in MSR-Magazin, Automatisierungstechnik für Fertigung und Prozess, 03/2010

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
FachartikelSMARTIEHS

Zugehörige Inhalte

Projekt

SMARTIEHS

Mit dem entwickelten Mess-System können MEMS-Strukturen im Wafer-Verbund gleichzeitig geprüft und der Testaufwand deutlich reduziert werden.


Zurück