euspen SIG: Micro/Nano Manufacturing 2023

Der Laserfokussensor, mit dem eigentlich vertikale Abstände vom Sensor zu einem Objekt gemessen werden, wird hier genutzt, um mit einem Nanometer-Positionierungssystem auch die seitlichen Abstände zwischen Strukturen eines Kreuzgitters mit 40 µm Rasterweite zu messen. Das Positioniersystem kann eine Plattform in sechs Freiheitsgraden innerhalb eines planaren Verfahrbereichs von ⌀ 200 mm bewegen und wird von differentiellen Laserinterferometern referenziert. Die Autoren erreichten damit eine Standardabweichung der Kreuzgittermittelpunkte von 4 nm über einen Bereich von 4 mm für die X- und Y-Richtung im Kurzzeitbereich und weniger als 20 nm Standardabweichung im Langzeitbereich. Gleichzeitig sind auch Höhenmessungen möglich.