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euspen SIG: Micro/Nano Manufacturing 2023

Datum, Art des Beitrags, Ort:
29.11.2023,Poster,Ilmenau, Technische Universität Ilmenau, Germany
Titel:

Unconventional, lateral measurements with laser focus sensors for nanopositioning stages

Autoren und Autorinnen:

D. A. Brasil [1], M. Katzschmann [1], S. Hesse [1], L. Herzog [1], T. Kissinger [2], T. Fröhlich [2]

[1] IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Germany

[2] Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, Germany

Veranstaltung:
euspen Special Interest Group Meeting: Micro/Nano Manufacturing 2023
Weiterführende Informationen:

Abstract:

Der Laserfokussensor, mit dem eigentlich vertikale Abstände vom Sensor zu einem Objekt gemessen werden, wird hier genutzt, um mit einem Nanometer-Positionierungssystem auch die seitlichen Abstände zwischen Strukturen eines Kreuzgitters mit 40 µm Rasterweite zu messen. Das Positioniersystem kann eine Plattform in sechs Freiheitsgraden innerhalb eines planaren Verfahrbereichs von ⌀ 200 mm bewegen und wird von differentiellen Laserinterferometern referenziert. Die Autoren erreichten damit eine Standardabweichung der Kreuzgittermittelpunkte von 4 nm über einen Bereich von 4 mm für die X- und Y-Richtung im Kurzzeitbereich und weniger als 20 nm Standardabweichung im Langzeitbereich. Gleichzeitig sind auch Höhenmessungen möglich.

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Alex S. Huaman

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