Zum Hauptinhalt springen

Best Paper Award für den Beitrag: Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control

Auszeichnung mit dem Best Paper Award auf der International Conference of Mechatronics, ICM, 7th-9th March 2021, Kashiwa, Japan
Datum:
Auszeichnung:
Best Paper Award für den Beitrag: Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control
Autoren und Autorinnen:
Alex S. Huaman1. Michael Katzschmann1. Steffen Hesse1. Christoph Schäffel1. Christoph Weise2. Denis Dontsov3. Eberhard Manske2. Johann Reger2.
Veranstaltung:

2021 IEEE International Conference on Mechatronics (ICM2021), 7th-9th March 2021, Kashiwa, Japan

 
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 2Technische Universität Ilmenau, Germany. 3SIOS Meßtechnik GmbH, Germany.

Zugehörige Inhalte

Projekt

NanoFab

Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.

  • Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control

    Alex S. Huaman1. Michael Katzschmann1. Steffen Hesse1. Christoph Schäffel1. Christoph Weise2. Denis Dontsov3. Eberhard Manske2. Johann Reger2.

    2021 IEEE International Conference on Mechatronics (ICM2021), DOI: doi.org/10.1109/ICM46511.2021.9385699, 7 - 9 March 2021, Kashiwa, Japan

    1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Technische Universität Ilmenau, Germany. 3SIOS Meßtechnik GmbH, Germany.
  • Nanopositioning and fabrication using the Nano Fabrication Machine with a positioning range up to ⊘100 mm

    Jaqueline Stauffenberg1. Christoph Reuter1. Ingo Ortlepp1. Mathias Holz2. Denis Dontsov3. Christoph Schäffel4. Jens-Peter Zöllner1. Ivo Rangelow1. Steffen Strehle1. Eberhard Manske1.

    Proc. SPIE 11610, Novel Patterning Technologies 2021, 1161016 (22 February 2021); DOI: doi.org/10.1117/12.2583703

    1Technische Universität Ilmenau, Germany. 2nano analytik GmbH, Germany. 3SIOS Meßtechnik GmbH, Germany. 4IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.
  • Tip- and laser-based nanofabrication up to 100 mm with sub-nanometre precision

    Ingo Ortlepp1. Michael Kühnel1. Martin Hofmann1. Laura Weidenfeller1. Johannes Kirchner1. Shraddha Supreeti1. Rostyslav Mastylo1. Mathias Holz1. Thomas Michels1. Roland Füßl1. Ivo W. Rangelow1. Thomas Fröhlich1. Denis Dontsov2. Christoph Schäffel3. Eberhard Manske1.

    Proc. SPIE 11324, Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS and MOEMS 2020, 113240A (23 March 2020), DOI: doi.org/10.1117/12.2551044

    1Technische Universität Ilmenau, Germany. 2SIOS Meßtechnik GmbH, Germany. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.
  • Design and Modeling Approach for a Lifting and Actuating Unit for the Application in Nano-Precision Machines

    Stephan Gorges1. Steffen Hesse1.

    33rd Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering (ASPE), 2018, 4-9 November 2018, Las Vegas, Nevada, USA

    1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.
Alle Publikationen

Veranstaltung,

EUSPEN 2022

euspen’s 22nd International Conference & Exhibition

Veranstaltung,

SPIE 2021

Advanced Lithography Digital Forum of The International Society for Optics and Photonics

Veranstaltung,

ASPE 2018

33rd Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering

Pressemitteilung,

Ready for Take-off – Vertikalantrieb für die 3D-Nanofertigung vorgestellt

IMMS-Doktorand verteidigt Promotion im DFG-Graduiertenkolleg NanoFab


Kontakt

Kontakt

Dr.-Ing. Frank Spiller

Kommissarischer Leiter Mechatronik

frank.spiller(at)imms.de+49 (0) 3677 874 93 61

Dr. Frank Spiller gibt Ihnen Auskunft zu unserer Forschung an magnetischen 6D-Direktantrieben mit nm-Präzision für die nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten. Er unterstützt Sie mit Dienstleistungen für die Entwicklung mechatronischer Systeme, für Simulation, Design und Test von MEMS sowie für Finite-Elemente-Modellierung und Simulation.

Zurück