Best Paper Award für den Beitrag: Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control
2021 IEEE International Conference on Mechatronics (ICM2021), 7th-9th March 2021, Kashiwa, Japan
Zugehörige Inhalte
Projekt
NanoFab
Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.
Investigations on the Tracking Control and Performance of a Long Stroke Vertical Nanopositioning Drive
Alex S. Huaman1. Stephan Gorges1. Michael Katzschmann1. Steffen Hesse1. Thomas Fröhlich2. Eberhard Manske2.Euspen (European Society for Precision Engineering and Nanotechnology) – 22nd International Conference & Exhibition, 30 May – 3 June 2022, Geneva, Switzerland
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, 98693 Ilmenau, Germany.Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control
Alex S. Huaman1. Michael Katzschmann1. Steffen Hesse1. Christoph Schäffel1. Christoph Weise2. Denis Dontsov3. Eberhard Manske2. Johann Reger2.2021 IEEE International Conference on Mechatronics (ICM2021), DOI: doi.org/10.1109/ICM46511.2021.9385699, 7 - 9 March 2021, Kashiwa, Japan
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Technische Universität Ilmenau, Germany. 3SIOS Meßtechnik GmbH, Germany.Nanopositioning and fabrication using the Nano Fabrication Machine with a positioning range up to ⊘100 mm
Jaqueline Stauffenberg1. Christoph Reuter1. Ingo Ortlepp1. Mathias Holz2. Denis Dontsov3. Christoph Schäffel4. Jens-Peter Zöllner1. Ivo Rangelow1. Steffen Strehle1. Eberhard Manske1.Proc. SPIE 11610, Novel Patterning Technologies 2021, 1161016 (22 February 2021); DOI: doi.org/10.1117/12.2583703
1Technische Universität Ilmenau, Germany. 2nano analytik GmbH, Germany. 3SIOS Meßtechnik GmbH, Germany. 4IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.Tip- and laser-based nanofabrication up to 100 mm with sub-nanometre precision
Ingo Ortlepp1. Michael Kühnel1. Martin Hofmann1. Laura Weidenfeller1. Johannes Kirchner1. Shraddha Supreeti1. Rostyslav Mastylo1. Mathias Holz1. Thomas Michels1. Roland Füßl1. Ivo W. Rangelow1. Thomas Fröhlich1. Denis Dontsov2. Christoph Schäffel3. Eberhard Manske1.Proc. SPIE 11324, Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS and MOEMS 2020, 113240A (23 March 2020), DOI: doi.org/10.1117/12.2551044
1Technische Universität Ilmenau, Germany. 2SIOS Meßtechnik GmbH, Germany. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.
Veranstaltung,
SPIE 2021
Advanced Lithography Digital Forum of The International Society for Optics and Photonics
Pressemitteilung,
Ready for Take-off – Vertikalantrieb für die 3D-Nanofertigung vorgestellt
IMMS-Doktorand verteidigt Promotion im DFG-Graduiertenkolleg NanoFab
Kontakt
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Dr.-Ing. Frank Spiller
Kommissarischer Leiter Mechatronik
frank.spiller(at)imms.de+49 (0) 3677 874 93 61
Dr. Frank Spiller gibt Ihnen Auskunft zu unserer Forschung an magnetischen 6D-Direktantrieben mit nm-Präzision für die nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten. Er unterstützt Sie mit Dienstleistungen für die Entwicklung mechatronischer Systeme, für Simulation, Design und Test von MEMS sowie für Finite-Elemente-Modellierung und Simulation.