Best Paper Award für den Beitrag: Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control

Auszeichnung mit dem Best Paper Award auf der International Conference of Mechatronics, ICM, 7th-9th March 2021, Kashiwa, Japan

Datum:

08.03.2021

Auszeichnung:

Best Paper Award für den Beitrag: Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control

Autoren und Autorinnen:

Alex S. Huaman¹. Michael Katzschmann¹. Steffen Hesse¹. Christoph Schäffel¹. Christoph Weise². Denis Dontsov³. Eberhard Manske². Johann Reger².

Veranstaltung:

2021 IEEE International Conference on Mechatronics (ICM2021), 7th-9th March 2021, Kashiwa, Japan

¹IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. ²Technische Universität Ilmenau, Germany. ³SIOS Meßtechnik GmbH, Germany.

Zugehörige Inhalte

Projekt

NanoFab

Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.

Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control
Alex S. Huaman¹. Michael Katzschmann¹. Steffen Hesse¹. Christoph Schäffel¹. Christoph Weise². Denis Dontsov³. Eberhard Manske². Johann Reger².
2021 IEEE International Conference on Mechatronics (ICM2021), DOI: doi.org/10.1109/ICM46511.2021.9385699, 7 - 9 March 2021, Kashiwa, Japan
¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. ²Technische Universität Ilmenau, Germany. ³SIOS Meßtechnik GmbH, Germany.
Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision Begutachtete VeröffentlichungNanoFab
Nanopositioning and fabrication using the Nano Fabrication Machine with a positioning range up to ⊘100 mm
Jaqueline Stauffenberg¹. Christoph Reuter¹. Ingo Ortlepp¹. Mathias Holz². Denis Dontsov³. Christoph Schäffel⁴. Jens-Peter Zöllner¹. Ivo Rangelow¹. Steffen Strehle¹. Eberhard Manske¹.
Proc. SPIE 11610, Novel Patterning Technologies 2021, 1161016 (22 February 2021); DOI: doi.org/10.1117/12.2583703
¹Technische Universität Ilmenau, Germany. ²nano analytik GmbH, Germany. ³SIOS Meßtechnik GmbH, Germany. ⁴IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.
Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision Begutachtete VeröffentlichungNanoFab
Tip- and laser-based nanofabrication up to 100 mm with sub-nanometre precision
Ingo Ortlepp¹. Michael Kühnel¹. Martin Hofmann¹. Laura Weidenfeller¹. Johannes Kirchner¹. Shraddha Supreeti¹. Rostyslav Mastylo¹. Mathias Holz¹. Thomas Michels¹. Roland Füßl¹. Ivo W. Rangelow¹. Thomas Fröhlich¹. Denis Dontsov². Christoph Schäffel³. Eberhard Manske¹.
Proc. SPIE 11324, Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS and MOEMS 2020, 113240A (23 March 2020), DOI: doi.org/10.1117/12.2551044
¹Technische Universität Ilmenau, Germany. ²SIOS Meßtechnik GmbH, Germany. ³IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.
Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision Begutachtete VeröffentlichungNanoFab
Design and Modeling Approach for a Lifting and Actuating Unit for the Application in Nano-Precision Machines
Stephan Gorges¹. Steffen Hesse¹.
33rd Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering (ASPE), 2018, 4-9 November 2018, Las Vegas, Nevada, USA
¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.
Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision Vortrag und PosterpräsentationNanoFab