Best Paper Award für den Beitrag: Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control
2021 IEEE International Conference on Mechatronics (ICM2021), 7th-9th March 2021, Kashiwa, Japan
Zugehörige Inhalte
Projekt
NanoFab
Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.
Investigation of long-term distance measurement repeatability in a large-range nanopositioning machine combined with a laser focus sensor
Davi Anders Brasil1, Michael Katzschmann1, Steffen Hesse1, Ludwig Herzog1, Eberhard Manske2, Thomas Fröhlich2, Thomas Kissinger2in Meas. Sci. Technol., vol. 37, no. 24, pp. 245005, 2026, DOI: doi.org/10.1088/1361-6501/ae76221IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, GermanyDetermination of yaw angle of mirror origin in a 6-DOF nanopositioning stage
Davi Anders Brasil1, Michael Katzschmann1, Steffen Hesse1, Ludwig Herzog1, Thomas Kissinger2, Thomas Fröhlich2International Scientific Symposium on World Interferometry Day 2026, , Ilmenau, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, GermanyNPS6D200: Long-Range-6D-Nanopositionierung mit interferometrischem Feedback für das Closed-Loop-Regelungssystem
Steffen Hesse1Experten-Tag für Präzisionsmesstechnik, , bei SIOS Meßtechnik GmbH, Ilmenau, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, GermanyNanometer-Positionierung mit 6D-Regelung
Steffen Hesse1Mikroproduktion, Fachmagazin, Ausgabe 03/2025, 2025, Seite 44-481IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany
Patent
DE 10 2023 118 056
Positionierungssystem mit einem Regler sowie Verfahren zu dessen Konfiguration
Pressemitteilung,
iENA-Silbermedaille für Beobachter der Atome
Neues Regelungskonzept zur sub-nanometergenauen Positionierung
Pressemitteilung,
Ready for Take-off – Vertikalantrieb für die 3D-Nanofertigung vorgestellt
IMMS-Doktorand verteidigt Promotion im DFG-Graduiertenkolleg NanoFab
Veranstaltung,
AHMT-Symposium 2026
Messtechnisches Symposium des Arbeitskreises der Hochschullehrer für Messtechnik e.V.
Veranstaltung,
WID 2026
Wissenschaftlichen Symposium anlässlich des Welttages der Interferometrie 2026
Veranstaltung,
Experten-Tag für Präzisionsmesstechnik
Fachvorträge, Live-Anwendungen, Expertentreff, Führungen
Kontakt
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Dr.-Ing. Ludwig Herzog
Leiter Mechatronik
ludwig.herzog(at)imms.de+49 (0) 3677 874 93 60
Dr. Ludwig Herzog gibt Ihnen Auskunft zu unserer Forschung an magnetischen 6D-Direktantrieben mit nm-Präzision für die nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten. Er unterstützt Sie mit Dienstleistungen für die Entwicklung mechatronischer Systeme, für Simulation, Design und Test von MEMS sowie für Finite-Elemente-Modellierung und Simulation.