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Best Paper Award für den Beitrag: Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control

Auszeichnung mit dem Best Paper Award auf der International Conference of Mechatronics, ICM, 7th-9th March 2021, Kashiwa, Japan
Datum:
Auszeichnung:
Best Paper Award für den Beitrag: Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control
Autoren und Autorinnen:
Alex S. Huaman1. Michael Katzschmann1. Steffen Hesse1. Christoph Schäffel1. Christoph Weise2. Denis Dontsov3. Eberhard Manske2. Johann Reger2.
Veranstaltung:

2021 IEEE International Conference on Mechatronics (ICM2021), 7th-9th March 2021, Kashiwa, Japan

 
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 2Technische Universität Ilmenau, Germany. 3SIOS Meßtechnik GmbH, Germany.

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Kontakt

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Dr.-Ing. Frank Spiller

Kommissarischer Leiter Mechatronik

frank.spiller(at)imms.de+49 (0) 3677 874 93 61

Dr. Frank Spiller gibt Ihnen Auskunft zu unserer Forschung an magnetischen 6D-Direktantrieben mit nm-Präzision für die nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten. Er unterstützt Sie mit Dienstleistungen für die Entwicklung mechatronischer Systeme, für Simulation, Design und Test von MEMS sowie für Finite-Elemente-Modellierung und Simulation.

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