Best Paper Award für den Beitrag: Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control
2021 IEEE International Conference on Mechatronics (ICM2021), 7th-9th March 2021, Kashiwa, Japan
Zugehörige Inhalte
Projekt
NanoFab
Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.
A virtual metrology frame test setup using fiber interferometric sensors
Davi Anders Brasil1. Steffen Hesse1. Ludwig Herzog1. Thomas Fröhlich2. Thomas Kissinger2.22nd International Metrology Congress (CIM 2025), Lyon, France, March 11-14, 2025
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau.Investigation of distance measurement reproducibility for a long-range nanopositioning machine combined with a laser focus sensor
Davi Anders Brasil1. Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Ludwig Herzog1. Thomas Fröhlich2. Thomas Kissinger2.20th International Conference on Precision Engineering (ICPE2024), Sendai, Japan, October 23-26, 2024
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau, Germany.Investigations on tip-based large area nanofabrication and nanometrology using a planar nanopositioning machine (NFM-100)
Jaqueline Stauffenberg1. Johannes Belkner1. Denis Dontsov2. Ludwig Herzog3. Steffen Hesse3. Ivo W Rangelow1,4. Ingo Ortlepp1. Thomas Kissinger1. Eberhard Manske1.2024 Meas. Sci. Technol. 35 085011, DOI: doi.org/10.1088/1361-6501/ad4668
1Institute for Process Measurement and Sensor Technology, Department for Mechanical Engineering, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, Ilmenau, Germany. 2SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 4nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 1, 98693 Ilmenau, Germany.Unconventional, lateral measurements with laser focus sensors for nanopositioning stages
Davi Anders Brasil1. Michael Katzschmann1. Steffen Hesse1. Ludwig Herzog1. T. Fröhlich2. T. Kissinger2.euspen Special Interest Group Meeting, "Micro/Nano Manufacturing", 28. - 29. November 2023, Ilmenau, Germany
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, Germany.
Veranstaltung,
euspen SIG: Micro/Nano Manufacturing 2023
euspen Special Interest Group Meeting: Micro/Nano Manufacturing 2023
Veranstaltung,
euspen 2022
Euspen Special Interest Group Meeting: Precision Motion Systems & Control 15th – 16th November 2022
Pressemitteilung,
iENA-Silbermedaille für Beobachter der Atome
Neues Regelungskonzept zur sub-nanometergenauen Positionierung
Pressemitteilung,
Ready for Take-off – Vertikalantrieb für die 3D-Nanofertigung vorgestellt
IMMS-Doktorand verteidigt Promotion im DFG-Graduiertenkolleg NanoFab
Kontakt
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Dr.-Ing. Ludwig Herzog
Leiter Mechatronik
ludwig.herzog(at)imms.de+49 (0) 3677 874 93 60
Dr. Ludwig Herzog gibt Ihnen Auskunft zu unserer Forschung an magnetischen 6D-Direktantrieben mit nm-Präzision für die nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten. Er unterstützt Sie mit Dienstleistungen für die Entwicklung mechatronischer Systeme, für Simulation, Design und Test von MEMS sowie für Finite-Elemente-Modellierung und Simulation.