Publikationsübersicht –SMARTIEHS
Das Parallelisieren von Motor- und Regelungsentwurf reduziert Entwicklungszeit und -kosten
Dr. Ch. Schäffel1. M. Katzschmann1.Erschienen in MSR-Magazin, Automatisierungstechnik für Fertigung und Prozess, 03/2010
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.FachartikelOptical, mechanical and electro-optical design of an interferometric test station for massive parallel inspection of MEMS and MOEMS
K.Gastinger1. K.H.Haugholt1. M. Kujawinska2. M.Jozwik2. C. Schäffel3. S. Beer4.Paper 7389-56, SPIE Europe Optical Metrology, 14.- 18. Juni 2009, München
1SINTEF, Norway. 2Warsaw Univ. of Technology, Poland. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 4Ctr. Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA, Switzerland.Fachartikel