Optical, mechanical and electro-optical design of an interferometric test station for massive parallel inspection of MEMS and MOEMS

K.Gastinger¹. K.H.Haugholt¹. M. Kujawinska². M.Jozwik². C. Schäffel³. S. Beer⁴.

Paper 7389-56, SPIE Europe Optical Metrology, 14.- 18. Juni 2009, München

¹SINTEF, Norway. ²Warsaw Univ. of Technology, Poland. ³IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. ⁴Ctr. Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA, Switzerland.

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