iENA-Bronzemedaille für „Dichtungsanordnung für eine teilweise im Vakuum angeordnete Interferometerstrecke“
Erfindermesse iENA in Nürnberg, 04. – 07.11.2021; Thüringer Auszeichnungsveranstaltung zum iENA-Wettbewerb am PATON – Landespatentzentrum Thüringen, Technische Universität Ilmenau, 17.05.2022
Zugehörige Inhalte
Patent
DE 10 2019 117 636
Dichtungsanordnung für eine teilweise im Vakuum angeordnete Interferometerstrecke
Pressemitteilung,
Hochpräzise Antriebe dürfen aus dem Vakuum
PTB und IMMS erhalten iENA-Bronzemedaille für neue Dichtungsanordnung zur präziseren Wegmessung in Hightech-Anwendungen
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Dienstleistung
Entwicklung mechatronischer Systeme
Wir entwickeln Aktorsysteme, Steuerungen und Regelungen als eingebettete Lösungen nach Kundenspezifikation mit höchsten Anforderungen an Präzision, Dynamik, verfügbaren Bauraum, Performance und Effizienz.
Forschungsfeld
Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision
Um die Fertigung makroskopischer High-Tech-Produkte mit mikroskopischer Präzision zu ermöglichen, forschen wir an wissenschaftlichen Grundlagen und technischen Lösungen für Nanopositioniersysteme für große Bewegungsbereiche.
Leitanwendung
nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten
Um beispielsweise die immer höhere Komplexität integrierter Systeme auf immer kleineren Halbleiterflächen fertigen zu können, forschen wir an immer präziseren Antrieben zur Nanometer-Vermessung und -Strukturierung von Objekten.
Kontakt
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Dr.-Ing. Ludwig Herzog
Leiter Mechatronik
ludwig.herzog(at)imms.de+49 (0) 3677 874 93 60
Dr. Ludwig Herzog gibt Ihnen Auskunft zu unserer Forschung an magnetischen 6D-Direktantrieben mit nm-Präzision für die nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten. Er unterstützt Sie mit Dienstleistungen für die Entwicklung mechatronischer Systeme, für Simulation, Design und Test von MEMS sowie für Finite-Elemente-Modellierung und Simulation.