iENA-Bronzemedaille für „Dichtungsanordnung für eine teilweise im Vakuum angeordnete Interferometerstrecke“
Erfindermesse iENA in Nürnberg, 04. – 07.11.2021; Thüringer Auszeichnungsveranstaltung zum iENA-Wettbewerb am PATON – Landespatentzentrum Thüringen, Technische Universität Ilmenau, 17.05.2022
Zugehörige Inhalte
Pressemitteilung,
Hochpräzise Antriebe dürfen aus dem Vakuum
PTB und IMMS erhalten iENA-Bronzemedaille für neue Dichtungsanordnung zur präziseren Wegmessung in Hightech-Anwendungen
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Dienstleistung
Entwicklung mechatronischer Systeme
Wir entwickeln Aktorsysteme, Steuerungen und Regelungen als eingebettete Lösungen nach Kundenspezifikation mit höchsten Anforderungen an Präzision, Dynamik, verfügbaren Bauraum, Performance und Effizienz.
Forschungsfeld
Magnetische 6D-Direktantriebe mit nm-Präzision
Um die Fertigung makroskopischer High-Tech-Produkte mit mikroskopischer Präzision zu ermöglichen, forschen wir an wissenschaftlichen Grundlagen und technischen Lösungen für Nanopositioniersysteme für große Bewegungsbereiche.
Leitanwendung
nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten
Um beispielsweise die immer höhere Komplexität integrierter Systeme auf immer kleineren Halbleiterflächen fertigen zu können, forschen wir an immer präziseren Antrieben zur Nanometer-Vermessung und -Strukturierung von Objekten.
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Dr.-Ing. Ludwig Herzog
Leiter Mechatronik
ludwig.herzog(at)imms.de+49 (0) 3677 874 93 60
Dr. Ludwig Herzog gibt Ihnen Auskunft zu unserer Forschung an magnetischen 6D-Direktantrieben mit nm-Präzision für die nm-Vermessung und -Strukturierung von Objekten. Er unterstützt Sie mit Dienstleistungen für die Entwicklung mechatronischer Systeme, für Simulation, Design und Test von MEMS sowie für Finite-Elemente-Modellierung und Simulation.