1163 results
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Interferometric Test Station for Parallel Inspection of MEMS
C. Schäffel1. S. Michael1. R. Paris1. A. Frank1. N. Zeike1. K. Gastinger2. M. Kujawinska3. U. Zeitner4. S. Beer5.Dresden: 5. Tagung 'Feinwerktechnische Konstruktion'. 141.30.123.140/feinwerkwiki/index.php/5._Tagung_Feinwerktechnische_Konstruktion1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstr. 27, D-98693 Ilmenau, Germany. 2NTNU Trondheim, before SINTEF IKT Optical measurement systems and data analysis, N-7465 Trondheim, Norway. 3Institute of Micromechanics and Photonics, Warsaw University of Technology, 8 Sw. A. Boboli St.,Pl-02-525 Warsaw, Poland. 4Fraunhofer IOF, A.-Einstein-Str. 7, 07745 Jena, Germany. 5CSEM Centre Suisse d’Electronique et de Microtechnique SA, Technoparkstr. 1, CH-8005 Zurich, Switzerland.Article -
AlGaN/GaN-heterostructures on (111) 3C-SiC/Si pseudo substrates for high frequency applications
K. Tonisch1. W. Jatal1. F. Niebelschuetz1. H. Romanus2. U. Baumann3. F. Schwierz1. J. Pezoldt1.Thin Solid Films, Volume 520, Issue 1, 31 October 2011, S. 491-496. www.sciencedirect.com/science/article/pii/S00406090110138851Institute of Micro- and Nanotechnology MacroNano®, Ilmenau Technical University, P.O. Box 100565, 98684 Ilmenau, Germany. 2Center for Micro- and Nanotechnology, Ilmenau Technical University, P.O. Box 100565, 98684 Ilmenau, Germany. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstr. 27, 98693 Ilmenau, Germany.Article -
Energieeffiziente Funkkommunikation für Smart Home Anwendungen
E. Chervakova1. W. Kattanek1.Wissenschaftliche Zeitschrift der Hochschule Mittweida Nr. 3/2011 'Drahtlose Kommunikationssysteme'. S. 40-431IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Article SHS-Facility -
Energiemanagement von Funksensorknoten
T. Rossbach1. M. Eifart1. W. Kattanek1.Wissenschaftliche Zeitschrift der Hochschule Mittweida Nr. 3/2011 'Drahtlose Kommunikationssysteme', S. 36-391IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Article -
Testing of Ultra-sensitive materials for nanoelectromechanical systems - USENEMS
R. Grieseler1. J. Klaus2. M. Stubenrauch3. K. Tonisch3. S. Michael2. J. Pezoldt3. P. Schaaf3.Lanzarote, Canary Islands, Spain: ECI Conference on Nanomechanical Testing in Materials Research and Development. (invited). 9.10.20111Ilmenau University of Technology, Institute of Micro- and Nanotechnologies MacroNano® and Institute of Materials Engineering, Department Materials for Electronics, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 3Ilmenau University of Technology, Institute of Micro- and Nanotechnologies MacroNano®, Department of Nanotechnology.Talk -
An AC-powered Optical Receiver consuming 270µW for Transcutaneous 2Mb/s Data Transfer
S. Lange1. H. Xu2. Ch. Lang1. H. Pless1. J. Becker2. H. J. Tiedtke3. E. Hennig1. M. Ortmanns2.Freiburg: BMT 2011 - Tagung der Biomedizinischen Technik. 27.09.2011-30.09.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2University of Ulm, Germany. 3Intelligent Medical Implants GmbH, Germany.Talk IR_RX -
Design of an interferometric test station for parallel inspection of MEMS
C. Schäffel1. S. Michael1. R. Paris1. A. Frank1. N. Zeike1. K. Gastinger2. M. Kujawinska3. U. Zeitner4. S. Beer5.Ilmenau: 56. IWK der TU Ilmenau. 12.09. - 16.09.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstr. 27, D-98693 Ilmenau, Germany. 2NTNU Trondheim, before SINTEF IKT Optical measurement systems and data analysis, N-7465 Trondheim, Norway. 3Institute of Micromechanics and Photonics, Warsaw University of Technology, 8 Sw. A. Boboli St.,Pl-02-525 Warsaw, Poland. 4Fraunhofer IOF, A.-Einstein-Str. 7, 07745 Jena, Germany. 5CSEM Centre Suisse d’Electronique et de Microtechnique SA, Technoparkstr. 1, CH-8005 Zurich, Switzerland.Talk -
Interferometric controlled planar positioning system with zerodur slider
S. Hesse1. C. Schäffel1. H-U. Mohr1. H. -J. Büchner2.Ilmenau. In Proceedings. 56. Int. wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau. URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2011iwk-103:11IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik.Article SFB622 -
Design of an interferometric test station for parallel inspection of MEMS
C. Schäffel1. S. Michael1. R. Paris1. A. Frank1. N. Zeike1. K. Gastinger2. M. Kujawinska3. U. Zeitner4. S. Beer5.Ilmenau. In Proceedings. 56. Int. wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau. URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2011iwk-098:51IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstr. 27, D-98693 Ilmenau, Germany. 2NTNU Trondheim, before SINTEF IKT Optical measurement systems and data analysis, N-7465 Trondheim, Norway. 3Institute of Micromechanics and Photonics, Warsaw University of Technology, 8 Sw. A. Boboli St.,Pl-02-525 Warsaw, Poland. 4Fraunhofer IOF, A.-Einstein-Str. 7, 07745 Jena, Germany. 5CSEM Centre Suisse d’Electronique et de Microtechnique SA, Technoparkstr. 1, CH-8005 Zurich, Switzerland.Article -
Interferometric controlled planar positioning system with zerodur slider
S. Hesse1. C. Schäffel1. H-U. Mohr1. H. -J. Büchner2.Ilmenau: 56. IWK der TU Ilmenau. 12.09. - 16.09.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik.Talk