Current Publication
Positioning performance of a planar nanopositioning system with 100mm circular travel range
St. Hesse1.
C. Schäffel1.
M. Katzschmann1.
H.-J. Büchner2.
27th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering (ASPE), 2012, San Diego, USA, 21.10.2012-26.10.2012
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ilmenau, Germany.
Talk