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Entworfen und bewegt
C. Schäffel1. M. Katzschmann1.11.2011. Der Konstrukteur S. 22-231IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Article -
SyEnA - Syntheseunterstützter Entwurf analoger Schaltungen
A. Graupner1. R. Jancke2. P. Jores3. J. Nowak4. R. Popp5.Newsletter edacentrum. S. 5-161ZMDi Zentrum Mikroelektronik Dresden AG (ZMD AG), Dresden, Germany. 2FhG IIS-EAS, Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS-EAS, Dresden, Germany. 3Robert Bosch GmbH, Gerlingen-Schillerhöhe, Germany. 4IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 5edacentrum e.V., Hannover, Germany.Article -
Interferometric controlled planar nanopositioning system with 100mm circular travel range
S. Hesse1. C. Schäffel1. M. Katzschmann1. H. -J. Büchner2.Denver, USA: ASPE 26th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering. in Proceedings, CD-ROM1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik.Article -
Ein Tool-Framework zur Technologiemigration analoger Schaltungen
V. Boos1. J. Nowak1.Erlangen: Analog 20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Poster presentation -
Ein Tool-Framework zur Technologiemigration analoger Schaltungen
V. Boos1. J. Nowak1.Erlangen: in Proceedings ANALOG 2011. GMM-Fachbericht Band 70. CD-ROM. ISBN 978-3-8007-3369-91IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Article -
Interferometric Test Station for Parallel Inspection of MEMS
C. Schäffel1. S. Michael1. R. Paris1. A. Frank1. N. Zeike1. K. Gastinger2. M. Kujawinska3. U. Zeitner4. S. Beer. 5.Dresden: 5. Tagung 'Feinwerktechnische Konstruktion'. 03.11.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstr. 27, D-98693 Ilmenau, Germany. 2NTNU Trondheim, before SINTEF IKT Optical measurement systems and data analysis, N-7465 Trondheim, Norway. 3Institute of Micromechanics and Photonics, Warsaw University of Technology, 8 Sw. A. Boboli St.,Pl-02-525 Warsaw, Poland. 4Fraunhofer IOF, A.-Einstein-Str. 7, 07745 Jena, Germany. 5CSEM Centre Suisse d’Electronique et de Microtechnique SA, Technoparkstr. 1, CH-8005 Zurich, Switzerland.Talk -
Interferometric Test Station for Parallel Inspection of MEMS
C. Schäffel1. S. Michael1. R. Paris1. A. Frank1. N. Zeike1. K. Gastinger2. M. Kujawinska3. U. Zeitner4. S. Beer5.Dresden: 5. Tagung 'Feinwerktechnische Konstruktion'. 141.30.123.140/feinwerkwiki/index.php/5._Tagung_Feinwerktechnische_Konstruktion1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstr. 27, D-98693 Ilmenau, Germany. 2NTNU Trondheim, before SINTEF IKT Optical measurement systems and data analysis, N-7465 Trondheim, Norway. 3Institute of Micromechanics and Photonics, Warsaw University of Technology, 8 Sw. A. Boboli St.,Pl-02-525 Warsaw, Poland. 4Fraunhofer IOF, A.-Einstein-Str. 7, 07745 Jena, Germany. 5CSEM Centre Suisse d’Electronique et de Microtechnique SA, Technoparkstr. 1, CH-8005 Zurich, Switzerland.Article -
AlGaN/GaN-heterostructures on (111) 3C-SiC/Si pseudo substrates for high frequency applications
K. Tonisch1. W. Jatal1. F. Niebelschuetz1. H. Romanus2. U. Baumann3. F. Schwierz1. J. Pezoldt1.Thin Solid Films, Volume 520, Issue 1, 31 October 2011, S. 491-496. www.sciencedirect.com/science/article/pii/S00406090110138851Institute of Micro- and Nanotechnology MacroNano®, Ilmenau Technical University, P.O. Box 100565, 98684 Ilmenau, Germany. 2Center for Micro- and Nanotechnology, Ilmenau Technical University, P.O. Box 100565, 98684 Ilmenau, Germany. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstr. 27, 98693 Ilmenau, Germany.Article -
Energieeffiziente Funkkommunikation für Smart Home Anwendungen
E. Chervakova1. W. Kattanek1.Wissenschaftliche Zeitschrift der Hochschule Mittweida Nr. 3/2011 'Drahtlose Kommunikationssysteme'. S. 40-431IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Article SHS-Facility -
Energiemanagement von Funksensorknoten
T. Rossbach1. M. Eifart1. W. Kattanek1.Wissenschaftliche Zeitschrift der Hochschule Mittweida Nr. 3/2011 'Drahtlose Kommunikationssysteme', S. 36-391IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Article