Current Publication
Positioning performance of a planar nanopositioning system with 100mm circular travel range
St. Hesse1.
C. Schäffel1.
M. Katzschmann1.
H.-J. Büchner2.
27th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering (ASPE), 2012, in Proceedings, ISBN 978-1-887706-61-2, p. 103-106
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ilmenau, Germany.
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