1158 results
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SMARTIEHS - The interferometric test station for parallel inspection of MEMS and MOEMS
K. Gastinger1. M. Kujawinska2. U. Zeitner3. C. Gorecki4. Dr. Ch. Schäffel5.11th Scientific Conference Optoelectronic and Electronic Sensors COE, 20.06-23.06.2010, Polen1SINTEF IKT Optical measurement systems and data analysis, Trondheim, Norway. 2Warsaw University of Technology, IMiF, Warsaw, Poland. 3Fraunhofer IOF, Jena, Germany. 4CNRS FEMTO-ST, Besançon, France. 5IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk -
Planar Magnetic Drives and Bearings for Multi-Axis Nanopositioning Machines with Large Travel Ranges.
T. Sattel1. R. Volkert1. S. Hesse2. Dr. Ch. Schäffel2.Actuator 2010, 14.06.-16.06.2010, Bremen1Mechatronics Group, Department of Mechanical Engineering, Ilmenau University of Technology Ilmenau. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk -
Erfolgskritisches Wissen bewerten und entwickeln - Praxisbericht
Dr. W. Sinn1.TU Ilmenau (Ringvorlesung), 08.06.2010, Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk -
Realisierung eines PDICs für 12fach Blu-ray-Disc-RW Laufwerke mit Hilfe neuartiger effizienter Entwurfsmethodiken
S. Lange1. Dr. B. Dimov1. Dr. T. Reich1. Dr. E. Hennig1.Kleinheubacher Tagung 2010, 04.-06.10.2010, Miltenberg1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk TAB DVD photo diode -
First results of an interferometric controlled planar positioning system for 100 mm with zerodur slider
S. Hesse1. H. -J. Büchner2. Prof. Dr. G. Jäger2. Dr. Ch. Schäffel1. H. -U. Mohr1. B. Leistritz1.10. International Conference of the Euspen Society for Precision Engineering & Nanotechnology, 31.05.-04.06.2010, Delft, Niederlande1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, TU Ilmenau, Ilmenau, Germany.Poster presentation -
Optical, mechanical and electro-optical design of an interferometric test station for massive parallel inspection of MEMS and MOEMS
Dr. Ch. Schäffel1. S. Michael1. B. Leistritz1. M. Katzschmann1. N. Zeike1. K. Gastinger2. M. Kujawinska3. M. Jozwik3. S. Beer4.10. International Conference of the Euspen Society for Precision Engineering & Nanotechnology, 31.05.2010-04.06.2010, Delft, Niederlanden1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2SINTEF IKT Optical measurement systems and data analysis, Trondheim, Norway. 3Institute of Micromechanics and Photonics, Warsaw University of Technology, Warsaw, Poland. 4CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA, Zurich, Schwitzerland.Article -
First results of an interferometric controlled planar positioning system for 100 mm with zerodur slider
S. Hesse1. H. -J. Büchner2. Prof. Dr. G. Jäger2. Dr. Ch. Schäffel1. H. U. Mohr1. B. Leistritz1.10. International Conference of the Euspen Society for Precision Engineering & Nanotechnology, 31.05.-04.06.2010, Delft, Niederlande1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, TU Ilmenau.Article -
Konvergenz von Navigation und Sensorik - Quelle neuer Wertschöpfung
Dr. W. Sinn1.5. Silicon Saxony Day, Workshop, 19.05.2010, Dresden1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk -
Ein Fotodetektor-IC für Blu-ray-Disc-Laufwerke mit 12-facher Schreib- und Lesegeschwindigkeit
Dr. E. Hennig1.5. Silicon Saxony Day, Mikroelektronik-Forum, 19.05.2010, Dresden1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk -
EDADB - eine Infrastruktur zur Dokumentation und Wiederverwendung von Schaltungstopologien
Dr. V. Boos1.DASS 2010, 18.05.-19.05.2010, Dresden1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk