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Operation and performance evaluation of vertical nanopositioners for 10 mm stroke in a 3D lift and tilt test setup
Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Alex S. Huaman1. Stephan Gorges1. Eberhard Manske2.euspen – Special Interest Group Meeting: Precision Motion Systems & Control, 15th – 16th November 2022, s-Hertogenbosch, The Netherlands, NL1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau, Germany. -
Machine-Learning im PCB-Entwurf: Open-Source zwischen Forschung, Potential und Alltag
Georg Gläser1.30. Konferenz des Fachverbandes für Design, Leiterplatten- und Elektronikfertigung (FED), 29. - 30. September 2022, Potsdam, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
KI für energieeffiziente Sensorsysteme – Effiziente Überwachung von Maschinen und Anlagen
Sebastian Uziel1.elmug4future, Technologiekonferenz, 27. - 28. September 2022, Friedrichroda, Thüringen1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
An IoT-based Sensor System to Capture Flower Bud Growth in Spring
Silvia Krug1. Tino Hutschenreuther1.19. GI/ITG KuVS Fachgespräch Sensornetze (FGSN 2022), pp. 37-40, DOI: doi.org/10.34702/mncp-qb18. 15. September 2022, Berlin, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Mid Sweden University Sundsvall, Sweden. -
Robust Tracking Control with L1 Adaptive Augmentation for a Long Stroke Vertical Nanopositioning System: Part II
Alex S. Huaman1. Johann Reger2.2022 IEEE Conference on Control Technology and Applications (CCTA), 2022, pp. 621-627, DOI: doi.org/10.1109/CCTA49430.2022.9965993, 22 - 25 August, 2022, Trieste, Italy1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Control Engineering Group, Technische Universität Ilmenau, P.O. Box 10-05-65, D-98684, Ilmenau, Germany. -
Robust Tracking Control with L1 Adaptive Augmentation for a Long-Stroke Vertical Nanopositioning System: Part I
Alex S. Huaman1. Johann Reger2.2022 IEEE Conference on Control Technology and Applications (CCTA), 2022, pp. 614-620, DOI: doi.org/10.1109/CCTA49430.2022.9966103, 22 - 25 August, 2022, Trieste, Italy1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Control Engineering Group, Technische Universität Ilmenau, P.O. Box 10-05-65, D-98684, Ilmenau, Germany. -
The angle dependent ΔE effect in TiN/AlN/Ni micro cantilevers
Bernd Hähnlein1. Maria Kellner2. Maximilian Krey3. Alireza Nikpourian2. Jörg Pezoldt4. Steffen Michael2. Hannes Töpfer3. Stefan Krischok1. Katja Tonisch1.Sensors and Actuators A: Physical, Volume 345, 2022, 113784, ISSN 0924-4247, DOI: doi.org/10.1016/j.sna.2022.1137841FG Technische Physik 1, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN MacroNano(R)), Technische Universität Ilmenau, Postfach 100565, Ilmenau, 98684, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 3FG Theoretische Elektrotechnik, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN MacroNano(R)), Technische Universität Ilmenau, Postfach 100565, Ilmenau, 98684, Germany. 4FG Nanotechnologie, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN MacroNano(R)), Technische Universität Ilmenau, Postfach 100565, Ilmenau, 98684, Germany. -
Measurement Precision of a Planar Nanopositioning Machine with a Range of Motion of Ø100 mm
Jaqueline Stauffenberg1. Ingo Ortlepp1. Johannes Belkner1. Denis Dontsov2. Enrico Langlotz2. Steffen Hesse3. Ivo Rangelow4. Eberhard Manske1.Applied Sciences. 2022; 12(15):7843. DOI: doi.org/10.3390/app121578431Production and Precision Measurement Technology Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, 98693 Ilmenau, Germany. 2SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 4nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 1, 98693 Ilmenau, Germany. -
Lock-In Pixel CMOS Image Sensor for Time-Resolved Fluorescence Readout of Lateral-Flow Assays
Alexander Hofmann1. Benjamin Saft1. Peggy Reich1. Martin Grabmann1. Georg Gläser1. Max Trübenbach2. Alexander Rolapp1. Marco Reinhard1. Friedrich Scholz2. Eric Schäfer1.IEEE Transactions on Biomedical Circuits and Systems, vol. 16, no. 4, pp. 535-544, Aug. 2022, DOI: doi.org/10.1109/TBCAS.2022.31929261IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Senova Gesellschaft für Biowissenschaft und Technik mbH, Germany. -
Wissenstransfer im Forschungsprojekt EXPRESS
Valentin Knitsch1. Rikard Grass2. Hannes Mollenhauer2. Silvia Krug3. Tino Hutschereuther3. Juliane Welz1.B&B Agrar, Die Zeitschrift für Bildung und Beratung, 2/2022, S. 22–23, DOI: doi.org/10.24406/publica-1891Fraunhofer-Zentrum für Internationales Management und Wissensökonomie IMW, Leipzig, Germany. 2Helmholtz-Zentrum für Umweltforschung GmbH – UFZ, Leipzig, Germany. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.