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Port-Extensions und Deembedding: Kalibrierverfahren eines VNA
Björn Bieske1.HAM Radio, Internationale Amateurfunk-Ausstellung, Juni 26-28, 2026, Friedrichshafen, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Investigation of long-term distance measurement repeatability in a large-range nanopositioning machine combined with a laser focus sensor
Davi Anders Brasil1. Michael Katzschmann1. Steffen Hesse1. Ludwig Herzog1. Eberhard Manske2. Thomas Fröhlich2. Thomas Kissinger2.2026 Meas. Sci. Technol. 37 245005, DOI: doi.org/10.1088/1361-6501/ae76221IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau, Germany. -
Hybrid Characterization and Reconstruction of Transient Thermal Fields in 6-DOF Nanopositioning Systems
Parastoo Salimitari1. Ina Naujokat1. Ahmed Rahat1. Amin Suaad1. Ludwig Herzog1. Tino Hutschenreuther1.2026 PI Symposium on Mechatronics System Design, June 16-17, 2026, Karlsruhe, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.. -
From Tracking Error to Accuracy – Error Budgeting and Compensation Approaches in Long-Range Nanopositioning Systems
Ludwig Herzog1.2026 PI Symposium on Mechatronics System Design, June 16-17, 2026, Karlsruhe, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Integrated SPAD-Based Entropy Source Using an On-Chip Trigger Diode for QRNG (Quantum Random Number Generator)
Benjamin Saft1. Alexander Zimmer2. Jakob Hampel1. Daniel Gäbler2. Maximilian Wiener1. Eric Schäfer1.The International SPAD Sensor Workshop (ISSW) 2026, June 1-4, 2026, Yonsei University, Seoul, South Korea1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 2X-FAB Global Services GmbH, Erfurt, Germany. -
Einsatz energieautarker Sensorsysteme in industriellen und landwirtschaftlichen Anwendungen
Tino Hutschenreuther1.VDI/VDE (GMA) 78. Stammtisch „Automatisierungstechnik”, 3. Juni 2026, Jena, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Von hoher Dynamik und ultra-hoher Präzision: Positioniersystem-Entwicklung am IMMS
Ludwig Herzog.Jahrestagung der Forschungsgemeinschaft Ultrapräzisionstechnik, Mai 28-29, 2026, Aachen1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Challenges of Building AI-Based Virtual Temperature Sensors for Nanopositioning Systems (NPS)
Amin Suaad1. Silvia Krug1, 2. Tino Hutschenreuther1.IEEE AI4IM 2026, IEEE Symposium on Artificial Intelligence for Instrumentation and Measurement, Mai 21-23, 2026, Amalfi, Italy1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 2Department of Computer and Electrical Engineering, Mid Sweden University, Holmgatan 10, 851 70 Sundsvall, Sweden. -
Sending a machine to do a humans job? – Concepts and Ideas for AI and Chip Design
Georg Gläser1.VDE – ITG Work Group MN 5.6 fWLR / Wafer Level Reliability, Reliability – Simulation & Qualification, May 11-13, 2026, Erfurt, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Out-of-Band Over-The-Air-Update for LoRaWAN-based Sensor Networks using BLE
Florian Jung1. Silvia Krug1,2. Tino Hutschenreuther1.2025 IEEE International Workshop on Metrology for Agriculture and Forestry (MetroAgriFor), October 28-30, 2025, Bologna, Italy, pp. 330-335, DOI: doi.org/10.1109/MetroAgriFor66923.2025.115123811IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 2Mid Sweden University, Sundsvall, Sweden.