1227 results
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Design of an interferometric test station for parallel inspection of MEMS
C. Schäffel1. S. Michael1. R. Paris1. A. Frank1. N. Zeike1. K. Gastinger2. M. Kujawinska3. U. Zeitner4. S. Beer5.Ilmenau: 56. IWK der TU Ilmenau. 12.09. - 16.09.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstr. 27, D-98693 Ilmenau, Germany. 2NTNU Trondheim, before SINTEF IKT Optical measurement systems and data analysis, N-7465 Trondheim, Norway. 3Institute of Micromechanics and Photonics, Warsaw University of Technology, 8 Sw. A. Boboli St.,Pl-02-525 Warsaw, Poland. 4Fraunhofer IOF, A.-Einstein-Str. 7, 07745 Jena, Germany. 5CSEM Centre Suisse d’Electronique et de Microtechnique SA, Technoparkstr. 1, CH-8005 Zurich, Switzerland.Talk -
Interferometric controlled planar positioning system with zerodur slider
S. Hesse1. C. Schäffel1. H-U. Mohr1. H. -J. Büchner2.Ilmenau. In Proceedings. 56. Int. wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau. URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2011iwk-103:11IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik.Article SFB622 -
Interferometric controlled planar positioning system with zerodur slider
S. Hesse1. C. Schäffel1. H-U. Mohr1. H. -J. Büchner2.Ilmenau: 56. IWK der TU Ilmenau. 12.09. - 16.09.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik.Talk -
Design of an interferometric test station for parallel inspection of MEMS
C. Schäffel1. S. Michael1. R. Paris1. A. Frank1. N. Zeike1. K. Gastinger2. M. Kujawinska3. U. Zeitner4. S. Beer5.Ilmenau. In Proceedings. 56. Int. wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau. URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2011iwk-098:51IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstr. 27, D-98693 Ilmenau, Germany. 2NTNU Trondheim, before SINTEF IKT Optical measurement systems and data analysis, N-7465 Trondheim, Norway. 3Institute of Micromechanics and Photonics, Warsaw University of Technology, 8 Sw. A. Boboli St.,Pl-02-525 Warsaw, Poland. 4Fraunhofer IOF, A.-Einstein-Str. 7, 07745 Jena, Germany. 5CSEM Centre Suisse d’Electronique et de Microtechnique SA, Technoparkstr. 1, CH-8005 Zurich, Switzerland.Article -
Entwicklung eines magnetisch geführten, planaren Direktantriebs
M. Katzschmann1. D. Karolewski1. C. Schäffel1.Zittau: 8. Workshop Magnetlagertechnik Zittau-Chemnitz. Tagungsband. S. 23-291IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Article -
Messwertgestützte Energieeffizienzoptimierung
F. Dinger1. T. Hutschenreuther2.Erfurt: 4. Energieeffizienz-Workshop: 'Energieeffizienz durch Prozessoptimierung - Von der Analyse zu intelligenten Lösungen'. 07.07.20111MAT Mess- und Analysentechnik, Hofgeismar, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk -
Die Zukunft zu Hause - Smart Home Services
T. Hutschenreuther1. M. Götze1.Suhl: elmug4future, 05.07. - 06.07.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Poster presentation SHS-Facility -
Flexible Hardware-Softwareplattformen für Smart Home Services
T. Hutschenreuther1. M. Götze1.Suhl: elmug4future. 05.07. - 06.07.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk SHS-Facility -
Intelligentes Power-Management drahtloser Sensorsysteme
T. Rossbach1.Suhl: elmug4future, 05.07. - 06.07.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Poster presentation -
Intelligentes Power-Management drahtloser Sensorsysteme
T. Rossbach1.Suhl: elmug4future. 05.07. - 06.07.20111IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Talk