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461. Jahresbericht 2006

Jahresbericht 2006 | IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH)

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462. Jahresbericht 2008

Jahresbericht 2008 | IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH)

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463. Jahresbericht 2011

Jahresbericht 2011 Impressum Herausgeber Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH Ehrenbergstraße 27 D-98693 Ilmenau Tel. : +49.3677.6955.00 Fax : +49.3677.6955.15 E-Mail: imms@imms.de www: http://www.imms.de Lektorat Prof. Dr.-Ing. Ralf Sommer Dipl.-Ing. Hans-Joachim Kelm Dipl.-Hdl. Dipl.-Des. Beate Hövelmans Dipl.-Ing. Anne Arlt Übersetzung Claudia Koch Layout und Satz Manuel Mohr Dipl.-Hdl. Dipl.-Des. Beate Hövelmans Fotos Dipl.-Hdl. Dipl.-Des. Beate Hövelmans Druck Brandtdruck e.K., www.brandtdruck.de Alle Rechte sind vorbehalten.…

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464. 2011 Annual Report | Article Mag6D (en/de)

2011 Jahresbericht | Fachartikel Mag6D (en/de): Magnetic 6D Direct Drive Mag6D

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465. Jahresbericht 2005

Jahresbericht 2005 | IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH)

Event

466. CCTA 2022

Components of the motion system, Physical setup. Photo: IMMS.

6th IEEE Conference on Control Technology and Applications

Reference

467. DE 10 2021 103 220

Arrangement of magnetic coils and magnetic coil actuators in the positioning system

Positioning system for the three-dimensional positioning of an object and method for its operation

Reference

468. The angle dependent ΔE effect in TiN/AlN/Ni micro cantilevers

Bernd Hähnlein, Maria Kellner, Maximilian Krey, Alireza Nikpourian, Jörg Pezoldt, Steffen Michael, Hannes Toepfer, Stefan Krischok, Katja Tonisch, 2022 Sensors and Actuators A: Physical

Reference

469. Measurement Precision of a Planar Nanopositioning Machine with a Range of Motion of Ø100 mm

Jaqueline Stauffenberg, Ingo Ortlepp, Johannes Belkner, Denis Dontsov, Enrico Langlotz, Steffen Hesse, Ivo W Rangelow, Eberhard Manske, 2022 Applied Sciences

Reference

470. Lock-In Pixel CMOS Image Sensor for Time-Resolved Fluorescence Readout of Lateral-Flow Assays

Alexander Hofmann, Benjamin Saft, Peggy Reich, Martin Grabmann, Georg Gläser, Max Trübenbach, Alexander Rolapp, Marco Reinhard, Friedrich Scholz, Eric Schäfer, 2022 IEEE Transactions on Biomedical Circuits and Systems