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Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control
Alex S. Huaman1,2, Michael Katzschmann1, Steffen Hesse1, Christoph Schäffel1, Christoph Weise2, Denis Dontsov3, Eberhard Manske2, Johann Reger22021 IEEE International Conference on Mechatronics (ICM2021), , Kashiwa, Japan, DOI: doi.org/10.1109/ICM46511.2021.93856991IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 3SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany -
Nanopositioning and fabrication using the Nano Fabrication Machine with a positioning range up to ⊘100 mm
Jaqueline Stauffenberg1, Christoph Reuter2, Ingo Ortlepp1, Mathias Holz3, Denis Dontsov4, Christoph Schäffel5, Jens-Peter Zöllner6, Ivo W. Rangelow7, Steffen Strehle2, Eberhard Manske1Proc. SPIE 11610, Novel Patterning Technologies 2021, 1161016 (22 Feb 2021), DOI: doi.org/10.1117/12.25837031Technische Universität Ilmenau, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Production and Precision Measurement Technology Group, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Institute of Micro- and Nanotechnologies, Microsystems Technology Group, Max-Planck-Ring 12, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany, 3nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 3, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany, 4SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany, 5IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 6Technische Universität Ilmenau, Department of Electrical Engineering and Information Technology, Institute for Micro- and Nanoelectronics, Micro- and Nanoelectronic Systems Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 7Technische Universität Ilmenau, Department of Mechanical Engineering, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Nanoscale Systems Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany -
Hochpräzise positionieren – Integrierter 6-DOF-Direktantrieb bewegt Objekte nanometergenau im Raum
Christoph Schäffel1Konstruktion, Sonderteil Antriebstechnik, , Nr. 11-12, https://www.ingenieur.de/fachmedien/konstruktion/antriebstechnik1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Tip- and laser-based nanofabrication up to 100 mm with sub-nanometre precision
Ingo Ortlepp1, Michael Kühnel1, Martin Hofmann2, Laura Weidenfeller1, Johannes Kirchner1, Shraddha Supreeti3, Rostyslav Mastylo1, Thomas Michels2, Thomas Fröhlich1, Denis Dontsov4, Christoph Schäffel5, Eberhard Manske1Proc. SPIE 11324, Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS and MOEMS 2020, 113240A (23 March 2020), DOI: doi.org/10.1117/12.25510441Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Institute of Micro- and Nanoelectronics, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, 98693 Ilmenau, Germany, 3Technische Universität Ilmenau, Institute of Micro- and Nanotechnologies (IMN) MacroNano®, Micromechanical Systems Group, Gustav-Kirchhoff-Straße 7, 98693 Ilmenau, Germany, 4SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany, 5IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Integrated Planar 6-DOF Nanopositioning System
Stephan Gorges1, Steffen Hesse1, Christoph Schäffel1, Ingo Ortlepp2, Eberhard Manske2, Enrico Langlotz3, Denis Dontsov3in IFAC-PapersOnLine, vol. 52, no. 15, pp. 313-318, 2019, DOI: doi.org/10.1016/j.ifacol.2019.11.6931IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 3SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany -
Design and Modeling Approach for a Lifting and Actuating Unit for the Application in Nano-Precision Machines
Stephan Gorges1, Steffen Hesse133rd Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering (ASPE), , Las Vegas, Nevada, USA1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Towards alternative 3D nanofabrication in macroscopic working volumes
Michael Kühnel1, Thomas Fröhlich1, Roland Füßl1, Martin Hoffmann2, Eberhard Manske1, Ivo W Rangelow3, Johann Reger4, Christoph Schäffel5, Stefan Sinzinger6, Jens-Peter Zöllner4in Meas. Sci. Technol., vol. 29, no. 11, pp. 114002, 2018, DOI: doi.org/10.1088/1361-6501/aadb571Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany, 2Ruhr-Universität Bochum, Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik, Universitätsstraße 150, 44801 Bochum, Postfach ID 7, Germany, 3Technische Universität Ilmenau, Institute of Micro- and Nanoelectronics, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, 98693 Ilmenau, Germany, 4Technische Universität Ilmenau, Institute for Automation and Systems Engineering, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 5IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 6Technische Universität Ilmenau, Department of Mechanical Engineering, Optical Engineering Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany -
Development of an Integrated Guiding and Actuation Element for High Dynamic Nanopositioning Systems
Stephan Gorges1, Bianca Leistritz1, Steffen Hesse1, Ingo Ortlepp2, G. Slotta3, Christoph Schäffel1Ilmenau Scientific Colloquium 2017, Session 1.1 – Precision Measurement Technology, , Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany, 3AeroLas GmbH, Grimmerweg 6, 82008 Unterhaching, Germany -
6D planar magnetic levitation system - PIMag 6D
Christoph Schäffel1, Michael Katzschmann1, Hans-Ulrich Mohr1, Rainer Gloess2, Christian Rudolf2, Carolin Walenda2in JSME Mechanical Engineering Journal, vol. 3, no. 1, pp. 15-00111, 2016, DOI: doi.org/10.1299/mej.15-001111IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Physik Instrumente (PI) SE & Co. KG, Auf der Römerstraße 1, 76228 Karlsruhe, Germany