39 results
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Experimental characterization of thermal disturbances in a 6DOF nanopositioning system under varying operational conditions
Parastoo Salimitari1. Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Ludwig Herzog1.Euspen Special Interest Conference: Precision & Performance 2025, November 18-20, 2025, Cranfield University, United Kingdom1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Development and validation of a simplified coil model for CFD simulation of a nano-positioning planar drive system
Ina Naujokat1. Ludwig Herzog1. Steffen Hesse1. Parastoo Salimitari1.Euspen Special Interest Conference: Precision & Performance 2025, November 18-20, 2025, Cranfield University, United Kingdom1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Sensor for Picometer-Scale Positioning in Vacuum – Demonstration of an IDS3010-Based Ultra-Precise Closed-loop Linear Drive System
Markus Øverland1. Gregor Schindler1. Alex S. Huaman2. Ludwig Herzog2.Technical Note: Motion & Sensing 15, attocube systems GmbH. V10/25. PDF: marketing.attocube.com/acton/attachment/4434/f-ed569c35-99d8-435b-b87f-8f6a30a97ca2/1/-/-/-/-/TechNote_MAS-15_Sensor%20for%20Picometer-Scale%20Positioning%20in%20Vacuum.pdf1attocube systems GmbH, Eglfinger Weg 2, 85540 Haar, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
NPS6D200: Long-Range-6D-Nanopositionierung mit interferometrischem Feedback für das Closed-Loop-Regelungssystem
Steffen Hesse1.Experten-Tag für Präzisionsmesstechnik, 28. - 29. Oktober 2025, bei SIOS Meßtechnik GmbH, Ilmenau, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Nanometer-Positionierung mit 6D-Regelung
Steffen Hesse1.Mikroproduktion, Fachmagazin, Ausgabe 03/2025, Seite 44 - 481IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Herausforderungen und Lösungsansätze bei der Entwicklung kraftgekoppelter Hochpräzisions-Vertikalantriebe
Ludwig Herzog1.18. Jahrestagung „Feinwerktechnische Konstruktion“, 25. - 26. September 2025, Dresden, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
NPS6D100-A 6D Nanopositioning System with Sub-10 nm Performance in a Ø100 mm × 10 mm Workspace
Steffen Hesse1. Alex S. Huaman1. Michael Katzschmann1. Ludwig Herzog1.Actuators 2025, 14, 361, DOI: doi.org/10.3390/act140803611IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
A method for dynamic interferometric characterization of air bearings for nanopositioning stages
Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Alex Huaman1. Parastoo Salimitari1. Ludwig Herzog1.Internationales Wissenschaftliches Symposium zum Welttag der Interferometrie, 8. - 9. April 2025, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
A virtual metrology frame test setup using fiber interferometric sensors
Davi Anders Brasil1. Steffen Hesse1. Ludwig Herzog1. Thomas Fröhlich2. Thomas Kissinger2.22nd International Metrology Congress (CIM 2025), Lyon, France, March 11-14, 20251IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau. -
Experimental investigation of air bearing noise by means of a 3D nanopositioning system
Parastoo Salimitari1. Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Alex S. Huaman1. Ludwig Herzog1.euspen Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, Brabanthallen, ’s-Hertogenbosch, The Netherlands, November 12-13, 20241IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.