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Hochpräzise positionieren – Integrierter 6-DOF-Direktantrieb bewegt Objekte nanometergenau im Raum
Christoph Schäffel1.
Konstruktion, Sonderteil Antriebstechnik, www.ingenieur.de/fachmedien/konstruktion/antriebstechnik/hochpraezise-positionieren/, 13. Oktober 2020
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.
