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Operation and performance evaluation of vertical nanopositioners for 10 mm stroke in a 3D lift and tilt test setup
Steffen Hesse1, Michael Katzschmann1, Alex S. Huaman1, Stephan Gorges1, Eberhard Manske2euspen – Special Interest Group Meeting: Precision Motion Systems & Control, , ’s-Hertogenbosch, Netherlands1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany -
Robust Tracking Control with L1 Adaptive Augmentation for a Long Stroke Vertical Nanopositioning System: Part II
Alex S. Huaman1, Johann Reger22022 IEEE Conference on Control Technology and Applications (CCTA), , Trieste, Italy, pp. 621-627, DOI: doi.org/10.1109/CCTA49430.2022.99659931IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Department of Computer Science and Automation, Control Engineering Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany -
Robust Tracking Control with L1 Adaptive Augmentation for a Long-Stroke Vertical Nanopositioning System: Part I
Alex S. Huaman1, Johann Reger22022 IEEE Conference on Control Technology and Applications (CCTA), , Trieste, Italy, pp. 614-620, DOI: doi.org/10.1109/CCTA49430.2022.99661031IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Department of Computer Science and Automation, Control Engineering Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany -
Measurement Precision of a Planar Nanopositioning Machine with a Range of Motion of Ø100 mm
Jaqueline Stauffenberg1, Ingo Ortlepp1, Johannes Belkner1, Denis Dontsov2, Enrico Langlotz2, Steffen Hesse3, Ivo W Rangelow4, Eberhard Manske1Applied Sciences 2022, 12(15), 7843, DOI: doi.org/10.3390/app121578431Technische Universität Ilmenau, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Production and Precision Measurement Technology Group, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany, 2SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany, 3IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 4nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 3, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany -
Investigations on the Tracking Control and Performance of a Long Stroke Vertical Nanopositioning Drive
Alex S. Huaman1, Stephan Gorges1, Michael Katzschmann1, Steffen Hesse1, Thomas Fröhlich2, Eberhard Manske2Euspen (European Society for Precision Engineering and Nanotechnology) – 22nd International Conference & Exhibition, , Geneva, Switzerland1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany -
Nanofabrication and -metrology by using the nanofabrication machine (NFM-100)
Ingo Ortlepp1,2, Jaqueline Stauffenberg1, Anja Krötschl2, Denis Dontsov3, Jens-Peter Zöllner4, Steffen Hesse5, Christoph Reuter2, Steffen Strehle2, Thomas Fröhlich1, Ivo W. Rangelow6, Eberhard Manske1Proc. SPIE 12054, Novel Patterning Technologies 2022, 120540A (25 May 2022), DOI: doi.org/10.1117/12.26151181Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Institute of Micro- and Nanotechnologies, Microsystems Technology Group, Max-Planck-Ring 12, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany, 3SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany, 4Technische Universität Ilmenau, Department of Electrical Engineering and Information Technology, Institute for Micro- and Nanoelectronics, Micro- and Nanoelectronic Systems Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 5IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 6Technische Universität Ilmenau, Department of Mechanical Engineering, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Nanoscale Systems Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany -
Interferometrically controlled, scalable x-y planar positioning stage concept
Ilko Rahneberg1, Enrico Langlotz1, Denis Dontsov1, Steffen Hesse2, Jaqueline Stauffenberg3, Eberhard Manske3Special Interest Group Meeting: Micro/Nano Manufacturing, , Virtual1SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany, 2IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 3Technische Universität Ilmenau, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Production and Precision Measurement Technology Group, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany -
Nanometergenaue Hubmodule für die Präzisionsantriebstechnik
Stephan Gorges1Konstruktion (2021) Nr. 11-12, Sonderteil Antriebstechnik, 2021, pp. 36-40, https://www.ingenieur.de/fachmedien/konstruktion/antriebstechnik/hubmodule-fuer-die-praezisionsantriebstechnik/1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Tip‑ and Laser‑based 3D Nanofabrication in Extended Macroscopic Working Areas
Ingo Ortlepp1, Thomas Fröhlich1, Roland Füßl et al.1in Nanomanufacturing and Metrology, vol. 4, pp. 132–148, 2021, DOI: doi.org/10.1007/s41871-021-00110-w1Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany -
Investigations on the positioning accuracy of the Nano Fabrication Machine (NFM-100)
Jaqueline Stauffenberg1, Ingo Ortlepp1, Ulrike Blumröder1, Denis Dontsov2, Christoph Schäffel3, Mathias Holz4, Ivo W. Rangelow5, Eberhard Manske1in tm - Technisches Messen, vol. 88, no. 9, pp. 581-589, 2021, DOI: doi.org/10.1515/teme-2021-00791Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstrasse 29, 98693 Ilmenau, Germany, 2SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany, 3IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 4nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 3, 98693 Ilmenau, Thuringia, Germany, 5Technische Universität Ilmenau, Department of Mechanical Engineering, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Nanoscale Systems Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany