Steffen Hesse,
Michael Katzschmann
Alex S. Huaman
Stephan Gorges
Eberhard Manske
euspen – Special Interest Group Meeting: Precision Motion Systems & Control, 15th – 16th November 2022, s-Hertogenbosch, The Netherlands, NL
Für die Grundlagenforschung zur Nanomesstechnik und Nanofabrikation der TU Ilmenau wurde mit der Nanofabrikationsmaschine NFM-100 ein System realisiert, welches zum einen die Abtastung von Oberflächen (AFM) und zum anderen die Bearbeitung mittels Feldemissions-Rastersondenlithographie erstmalig in einem xy-Verfahrbereich von Ø100 mm möglich macht.
Das IMMS entwickelt einen CMOS-Bildsensor zur zeitaufgelösten Fluoreszenzdetektion für die direkte Integration in mikrofluidische Kartuschen mittels 3D-Siebdruck.
„Das IMMS konnte uns aufgrund seiner jahrelangen Erfahrung im Bereich Messtechnik und dem Schaltungsdesign für optische Sensoren wertvolle Unterstützung anbieten. Die zuverlässige Arbeit und die vertrauensvolle Partnerschaft ist eine hochgeschätzte Basis für die Zusammenarbeit mit dem IMMS.”
„Die Erfahrung in den Bereichen digitales IC-Design, Synthese, Place & Route, Verifikation und Sign-Off unter Verwendung modernster Tools und Methoden macht das IMMS zu einem hervorragenden Partner bei der Entwicklung von integrierten Mixed-Signal-Sensoren.”
