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Referenz
211.
Robust Adaptive Tracking Control of a 3D Vertical Motion System for Nanometer Precision Applications
Referenz
216.
Characterizing Dynamics of MEMS Devices on Wafer Level Using Optical Measurement Techniques
Pressemitteilungen
217.
Zuverlässige und schnellere Chip-Designs durch invasive und parametrische Simulationsmethoden