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Pressemitteilungen

231. Wir nehmen Abschied von Prof. Dr.-Ing. habil. Dr. h.c. Dagmar Schipanski

Prof. Dr.-Ing. habil. Dr. h.c. Dagmar Schipanski. Foto: privat.

(*3. September 1943, † 7. September 2022)

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232. Robust Tracking Control with L1 Adaptive Augmentation for a Long Stroke Vertical Nanopositioning System: Part II

Alex S. Huaman, Johann Reger 2022 IEEE Conference on Control Technology and Applications (CCTA), 2022, pp. 621-627, DOI: https://doi.org/10.1109/CCTA49430.2022.9965993, 22 - 25 August, 2022, Trieste, Italy

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233. Robust Tracking Control with L1 Adaptive Augmentation for a Long-Stroke Vertical Nanopositioning System: Part I

Alex S. Huaman, Johann Reger 2022 IEEE Conference on Control Technology and Applications (CCTA), 2022, pp. 614-620, DOI: https://doi.org/10.1109/CCTA49430.2022.9966103, 22 - 25 August, 2022, Trieste, Italy

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234. Jahresbericht 2006

Jahresbericht 2006 | IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH)

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235. Jahresbericht 2008

Jahresbericht 2008 | IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH)

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236. Jahresbericht 2011

Jahresbericht 2011 Impressum Herausgeber Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH Ehrenbergstraße 27 D-98693 Ilmenau Tel. : +49.3677.6955.00 Fax : +49.3677.6955.15 E-Mail: imms@imms.de www: http://www.imms.de Lektorat Prof. Dr.-Ing. Ralf Sommer Dipl.-Ing. Hans-Joachim Kelm Dipl.-Hdl. Dipl.-Des. Beate Hövelmans Dipl.-Ing. Anne Arlt Übersetzung Claudia Koch Layout und Satz Manuel Mohr Dipl.-Hdl. Dipl.-Des. Beate Hövelmans Fotos Dipl.-Hdl. Dipl.-Des. Beate Hövelmans Druck Brandtdruck e.K., www.brandtdruck.de Alle Rechte sind vorbehalten.…

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237. 2011 Jahresbericht | Fachartikel Mag6D (en/de)

2011 Jahresbericht | Fachartikel Mag6D (en/de): Magnetic 6D Direct Drive Mag6D

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238. Jahresbericht 2005

Jahresbericht 2005 | IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH)

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239. Positionierungssystem zur dreidimensionalen Positionierung eines Objektes sowie Verfahren zu seinem Betrieb

Steffen Hesse, Christoph Schäffel Michael Katzschmann Bianca Leistritz Stephan Gorges Jorge Amado Gonzalez Whittinham DE 10 2021 103 220 A1

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240. The angle dependent ΔE effect in TiN/AlN/Ni micro cantilevers

Bernd Hähnlein, Maria Kellner Maximilian Krey Alireza Nikpourian Jörg Pezoldt Steffen Michael Hannes Töpfer Stefan Krischok Katja Tonisch Sensors and Actuators A: Physical, Volume 345, 2022, 113784, ISSN 0924-4247, DOI: https://doi.org/10.1016/j.sna.2022.113784